Om oss

Semicorex Advanced Material Technology Co., Ltd er en ledende høykvalitetsleverandør av førsteklasses kjemisk dampavsetning (CVD) SiC-beleggprodukter i Kina. Vi er forpliktet til forskning og utvikling av innovative halvledermaterialer, spesielt av SiC-beleggteknologi og dens anvendelse i halvlederindustrien. Vi tilbyr et bredt utvalg av høykvalitetsprodukter som f.eksSiC-belagte grafittsusceptorer, silisiumkarbidbelagt, dype UV-epitaksiseptorer, CVD substratvarmere, CVD SiC waferbærere, oblatbåter, i tillegg tilhalvlederkomponenterogsilisiumkarbid keramiske produkter.

Den tynne SiC-filmen som brukes i LED-brikkepitaksi og enkeltkrystallsubstrater av silisium har en kubisk fase med samme krystallgitterstruktur som diamant, og den er nest etter diamant i hardhet. SiC er et bredt anerkjent halvledermateriale med et enormt potensial for anvendelse i halvlederelektronikkindustrien, og har utmerkede fysiske og kjemiske egenskaper, som høy varmeledningsevne, lav termisk ekspansjonskoeffisient og høy temperaturbestandighet og korrosjonsbestandighet.

Ved produksjon av elektroniske enheter må wafere passere gjennom flere trinn, inkludert silisiumepitaksi, der wafere bæres på grafittsusceptorer. Kvaliteten og egenskapene til susceptorene spiller en avgjørende rolle for kvaliteten på waferens epitaksiale lag. Grafittbase er en av kjernekomponentene i MOCVD-utstyr, og det er bæreren og varmeren til underlaget. Dens termisk stabile ytelsesparametere som termisk ensartethet spiller en avgjørende rolle i kvaliteten på epitaksial materialvekst, og bestemmer direkte gjennomsnittlig enhetlighet og renhet.

Hos Semicorex bruker vi CVD til å produsere tette β-SiC-filmer på isostatisk grafitt med høy styrke, som har høyere renhet sammenlignet med sintrede SiC-materialer. Våre produkter som SiC-belagte grafittsusceptorer gir grafittbasen spesielle egenskaper, noe som gjør overflaten til grafittbasen kompakt, glatt og ikke-porøs, overlegen varmebestandig, termisk jevnhet, korrosjonsbestandig og oksidasjonsbestandig.

SiC-beleggsteknologi har fått utbredt bruk, spesielt i LED-epitaksiale bærere-vekst og Si-enkrystall-epitaksi. Med den raske veksten i halvlederindustrien har etterspørselen etter SiC-beleggsteknologi og -produkter økt betydelig. Våre SiC-beleggsprodukter har et bredt spekter av bruksområder innen romfart, fotovoltaisk industri, kjernekraft, høyhastighetstog, bilindustri og andre industrier.

Produktapplikasjon

LED IC epitaksi

Enkrystall silisium epitaksi

RTP/TRA waferbærere

ICP/PSS-etsing

Plasma-etsing

SiC epitaksi

Monokrystallinsk silisiumepitaksi

Silisiumbasert GaN-epitaksi

Dyp UV-epitaksi

halvlederetsing

solcelleindustrien

SiC Epitaksial CVD-system

SiC epitaksial filmvekstutstyr

MOCVD-reaktor

MOCVD-system

CVD utstyr

PECVD-systemer

LPE-systemer

Aixtron-systemer

Nuflare systemer

TEL CVD-systemer

Vecco systemer

TSI-systemer