Som profesjonell produksjon vil vi gjerne gi deg Wafer Heater. Varmere for avsetningsutstyr krever jevn termisk fordeling over skiven, sammen med høy renhet og plasmamotstand. Semicorex leverer CVD-silisiumkarbidbelagte oppvarmingsapplikasjoner inkludert varmeovner og digler, våre avanserte varmekomponenter er egnet for vakuumavsetningsmiljø ALD-CVD-PVD-prosesser.
CVD SiC-belegget til Semicorex SiC Coating Heater gir overlegen ytelse når det gjelder å beskytte varmeelementer fra de tøffe, korrosive og reaktive miljøene som ofte oppstår i prosesser som metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD) og epitaksial vekst.**
Les merSend forespørselMOCVD-varmeren fra Semicorex er en svært avansert og omhyggelig konstruert komponent som tilbyr en rekke fordeler, inkludert eksepsjonell kjemisk renhet, termisk effektivitet, elektrisk ledningsevne, høy emissivitet, korrosjonsbestandighet, uoksiderbarhet og mekanisk styrke.**
Les merSend forespørsel