Hjem > Produkter > Silisiumkarbidbelagt

Kina Silisiumkarbidbelagt produsenter, leverandører, fabrikk

SiC-belegg er et tynt lag på susceptoren gjennom prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD). Silisiumkarbidmateriale gir en rekke fordeler fremfor silisium, inkludert 10x nedbrytningsstyrken for elektrisk felt, 3x båndgapet, som gir materialet høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke samt termisk ledningsevne.

Semicorex tilbyr tilpasset service, hjelper deg med innovasjon med komponenter som varer lenger, reduserer syklustider og forbedrer utbyttet.


SiC-belegg har flere unike fordeler

Høytemperaturmotstand: CVD SiC-belagt susceptor kan tåle høye temperaturer opp til 1600°C uten å gjennomgå betydelig termisk nedbrytning.

Kjemisk motstand: Silisiumkarbidbelegget gir utmerket motstand mot et bredt spekter av kjemikalier, inkludert syrer, alkalier og organiske løsemidler.

Slitestyrke: SiC-belegget gir materialet utmerket slitestyrke, noe som gjør det egnet for bruksområder som involverer høy slitasje.

Termisk ledningsevne: CVD SiC-belegget gir materialet høy varmeledningsevne, noe som gjør det egnet for bruk i høytemperaturapplikasjoner som krever effektiv varmeoverføring.

Høy styrke og stivhet: Den silisiumkarbidbelagte susceptoren gir materialet høy styrke og stivhet, noe som gjør det egnet for applikasjoner som krever høy mekanisk styrke.


SiC-belegg brukes i ulike applikasjoner

LED-produksjon: CVD SiC-belagt susceptor brukes i produksjon bearbeidet av ulike LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED, på grunn av sin høye varmeledningsevne og kjemiske motstand.



Mobilkommunikasjon: CVD SiC-belagt susceptor er en avgjørende del av HEMT for å fullføre GaN-on-SiC epitaksial prosessen.



Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor brukes i halvlederindustrien for ulike applikasjoner, inkludert wafer-behandling og epitaksial vekst.





SiC-belagte grafittkomponenter

Laget av Silicon Carbide Coating (SiC) grafitt, påføres belegget ved en CVD-metode på spesifikke kvaliteter av høydensitetsgrafitt, slik at det kan operere i høytemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .

Materialets spesielle egenskaper og lave masse tillater raske oppvarmingshastigheter, jevn temperaturfordeling og enestående presisjon i kontroll.


Materialdata for Semicorex SiC Coating

Typiske egenskaper

Enheter

Verdier

Struktur


FCC β-fase

Orientering

Brøk (%)

111 foretrukket

Bulk tetthet

g/cm³

3.21

Hardhet

Vickers hardhet

2500

Varmekapasitet

J kg-1 K-1

640

Termisk ekspansjon 100–600 °C (212–1112 °F)

10-6K-1

4.5

Youngs modul

Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)

430

Kornstørrelse

μm

2~10

Sublimeringstemperatur

2700

Feleksural styrke

MPa (RT 4-punkts)

415

Termisk ledningsevne

(W/mK)

300


Konklusjon CVD SiC-belagt susceptor er et komposittmateriale som kombinerer egenskapene til en susceptor og silisiumkarbid. Dette materialet har unike egenskaper, inkludert høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke, høy varmeledningsevne og høy styrke og stivhet. Disse egenskapene gjør det til et attraktivt materiale for ulike høytemperaturapplikasjoner, inkludert halvlederbehandling, kjemisk prosessering, varmebehandling, solcelleproduksjon og LED-produksjon.






View as  
 
8 tommers epi toppring

8 tommers epi toppring

Semicorex 8 -tommers Epi Top Ring er en SIC -belagt grafittkomponent designet for bruk som den øvre dekselringen i epitaksiale vekstsystemer. Velg Semicorex for sin bransjeledende materielle renhet, presis maskinering og jevn beleggskvalitet som sikrer stabil ytelse og utvidet komponent levetid i høye temperaturer halvlederprosesser.*

Les merSend forespørsel
8 tommers epi bunnring

8 tommers epi bunnring

Semicorex 8 tommers epi bunnring er en robust SIC -belagt grafittkomponent som er essensiell for epitaksial wafer -prosessering. Velg semikorex for uovertruffen materialrenhet, beleggpresisjon og pålitelig ytelse i hver produksjonssyklus.*

Les merSend forespørsel
8. Inch EPI -supporter

8. Inch EPI -supporter

Semicorex 8-tommers EPI-sensekter er en SIC-belagt grafitt-bærer med høy ytelse designet for bruk i epitaksialt deponeringsutstyr. Å velge semikorex sikrer overlegen materialets renhet, presisjonsproduksjon og konsistent produkt pålitelighet skreddersydd for å oppfylle de krevende standardene i halvlederindustrien.*

Les merSend forespørsel
Sic transportør for ICP

Sic transportør for ICP

Semikorex SIC-bærer for ICP er en høyytelseshaveren laget av SIC-belagt grafitt, designet spesielt for bruk i induktiv koblet plasma (ICP) etsning og deponeringssystemer. Velg Semicorex for vår verdensledende anisotropiske grafittkvalitet, presisjonsproduksjon av små batch og kompromissløst engasjement for renhet, konsistens og prosessytelse.*

Les merSend forespørsel
Grafittbærer for epitaksiale reaktorer

Grafittbærer for epitaksiale reaktorer

Semicorex grafittbærer for epitaksiale reaktorer er en SIC-belagt grafittkomponent med presisjonsmikrohull for gasstrøm, optimalisert for epitaksial deponering med høy ytelse. Velg Semicorex for overlegen beleggsteknologi, tilpasningsfleksibilitet og bransjetilset kvalitet.*

Les merSend forespørsel
Sic belagt plate

Sic belagt plate

Semicorex SIC-belagt plate er en presisjons-konstruert komponent laget av grafitt med et silisiumkarbidbelegg med høy renhet, designet for krevende epitaksiale applikasjoner. Velg Semicorex for sin bransjeledende CVD-beleggsteknologi, streng kvalitetskontroll og bevist pålitelighet i halvlederproduksjonsmiljøer.*

Les merSend forespørsel
Semicorex har produsert Silisiumkarbidbelagt i mange år og er en av de profesjonelle Silisiumkarbidbelagt-produsentene og leverandørene i Kina. Når du kjøper våre avanserte og holdbare produkter som leverer bulkpakking, garanterer vi det store antallet i rask levering. Gjennom årene har vi gitt kundene tilpasset service. Kundene er fornøyde med våre produkter og utmerket service. Vi ser oppriktig frem til å bli din pålitelige langsiktige forretningspartner! Velkommen til å kjøpe produkter fra vår fabrikk.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept