SiC-belegg er et tynt lag på susceptoren gjennom prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD). Silisiumkarbidmateriale gir en rekke fordeler fremfor silisium, inkludert 10x nedbrytningsstyrken for elektrisk felt, 3x båndgapet, som gir materialet høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex tilbyr tilpasset service, hjelper deg med innovasjon med komponenter som varer lenger, reduserer syklustider og forbedrer utbyttet.
SiC-belegg har flere unike fordeler
Høytemperaturmotstand: CVD SiC-belagt susceptor kan tåle høye temperaturer opp til 1600°C uten å gjennomgå betydelig termisk nedbrytning.
Kjemisk motstand: Silisiumkarbidbelegget gir utmerket motstand mot et bredt spekter av kjemikalier, inkludert syrer, alkalier og organiske løsemidler.
Slitestyrke: SiC-belegget gir materialet utmerket slitestyrke, noe som gjør det egnet for bruksområder som involverer høy slitasje.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belegget gir materialet høy varmeledningsevne, noe som gjør det egnet for bruk i høytemperaturapplikasjoner som krever effektiv varmeoverføring.
Høy styrke og stivhet: Den silisiumkarbidbelagte susceptoren gir materialet høy styrke og stivhet, noe som gjør det egnet for applikasjoner som krever høy mekanisk styrke.
SiC-belegg brukes i ulike applikasjoner
LED-produksjon: CVD SiC-belagt susceptor brukes i produksjon bearbeidet av ulike LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED, på grunn av sin høye varmeledningsevne og kjemiske motstand.
Mobilkommunikasjon: CVD SiC-belagt susceptor er en avgjørende del av HEMT for å fullføre GaN-on-SiC epitaksial prosessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor brukes i halvlederindustrien for ulike applikasjoner, inkludert wafer-behandling og epitaksial vekst.
SiC-belagte grafittkomponenter
Laget av Silicon Carbide Coating (SiC) grafitt, påføres belegget ved en CVD-metode på spesifikke kvaliteter av høydensitetsgrafitt, slik at det kan operere i høytemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets spesielle egenskaper og lave masse tillater raske oppvarmingshastigheter, jevn temperaturfordeling og enestående presisjon i kontroll.
Materialdata for Semicorex SiC Coating
Typiske egenskaper |
Enheter |
Verdier |
Struktur |
|
FCC β-fase |
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrukket |
Bulk tetthet |
g/cm³ |
3.21 |
Hardhet |
Vickers hardhet |
2500 |
Varmekapasitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk ekspansjon 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) |
430 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusjon CVD SiC-belagt susceptor er et komposittmateriale som kombinerer egenskapene til en susceptor og silisiumkarbid. Dette materialet har unike egenskaper, inkludert høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke, høy varmeledningsevne og høy styrke og stivhet. Disse egenskapene gjør det til et attraktivt materiale for ulike høytemperaturapplikasjoner, inkludert halvlederbehandling, kjemisk prosessering, varmebehandling, solcelleproduksjon og LED-produksjon.
Semikorex SIC-belagte grafittbrett er høyytelsesbærerløsninger spesielt designet for algan epitaksial vekst i UV-LED-industrien. Velg Semicorex for bransjeledende materiell renhet, presisjonsteknikk og uovertruffen pålitelighet i krevende MOCVD-miljøer.*
Les merSend forespørselSemicorex etsing av waferbærer med CVD SIC-belegg er en avansert, høy ytelse løsning som er skreddersydd for krevende halvleder-etsningsapplikasjoner. Den overlegne termiske stabiliteten, kjemisk motstand og mekanisk holdbarhet gjør det til en essensiell komponent i moderne wafer-fabrikasjon, og sikrer høy effektivitet, pålitelighet og kostnadseffektivitet for halvlederprodusenter over hele verden.*
Les merSend forespørselSemicorex satellittplate er en kritisk komponent som brukes i halvlederpitaksiske reaktorer, spesielt designet for AixTron G5+ utstyr. Semicorex kombinerer avansert materialkompetanse med banebrytende beleggsteknologi for å levere pålitelige, høye ytelsesløsninger skreddersydd for krevende industrielle applikasjoner.*
Les merSend forespørselSemicorex Planetary Sosceptor er en grafittkomponent med høy renhet med et SIC-belegg, designet for AixTron G5+ -reaktorer for å sikre ensartet varmefordeling, kjemisk motstand og vekst med høy presisjon epitaksial lag.*
Les merSend forespørselSemikorex SiC belegg flat del er en SIC-belagt grafittkomponent som er essensiell for ensartet luftstrømningsledning i SIC-epitaksiprosessen. Semicorex leverer presisjons-konstruerte løsninger med uovertruffen kvalitet, noe som sikrer optimal ytelse for halvlederproduksjon.*
Les merSend forespørselSemicorex SiC Coating Component er et essensielt materiale designet for å møte de krevende kravene til SiC-epitaksiprosessen, et sentralt stadium i halvlederproduksjon. Det spiller en kritisk rolle i å optimalisere vekstmiljøet for silisiumkarbid (SiC) krystaller, og bidrar betydelig til kvaliteten og ytelsen til sluttproduktet.*
Les merSend forespørsel