Fokusring eller kantringer er designet for å forbedre etsningens jevnhet rundt waferkanten eller omkretsen.
Semicorex-fokusringer er silisiumkarbidbelagt ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD) gir overlegen varmebestandighet, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand, og holdbar kjemisk motstand, som er bygget for å tåle de ekstreme miljøene i plasmaetsing eller tørr etseprosess. .
Semicorex holdbare fokusringer for halvlederbehandling er designet for å tåle de ekstreme miljøene i plasmaetsingskamre som brukes i halvlederbehandling. Fokusringene våre er laget av grafitt med høy renhet belagt med et tett, slitesterkt silisiumkarbidbelegg (SiC). SiC-belegget har høye korrosjons- og varmebestandige egenskaper, samt utmerket varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynne lag på grafitten ved å bruke prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD) for å forbedre levetiden til fokusringene våre.
Les merSend forespørselSemicorex Plasma-behandlingsfokusring er spesialdesignet for å møte de høye kravene til plasmaetsingsbehandling i halvlederindustrien. Våre avanserte silisiumkarbidbelagte komponenter med høy renhet er bygget for å tåle ekstreme miljøer og er egnet for bruk i ulike applikasjoner, inkludert silisiumkarbidlag og epitaksiske halvledere.
Les merSend forespørselSemicorex avanserte SiC-fokusringer med høy renhet er bygget for å tåle de ekstreme miljøene i plasma-etsing (eller tørretsing) kamre. Vi fokuserer på halvlederindustrier som silisiumkarbidlag og epitaksihalvleder. Våre produkter har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel