Fokusring eller kantringer er designet for å forbedre etsningens jevnhet rundt waferkanten eller omkretsen.
Semicorex fokusringer er silisiumkarbidbelagt ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD) gir overlegen varmebestandighet, jevn termisk jevnhet for konsistent epilagtykkelse og motstand, og holdbar kjemisk motstand, som er bygget for å tåle de ekstreme miljøene i plasmaetsing eller tørretsingsprosess. .
Semicorex SiC Focus Ring er en silisiumkarbidringkomponent med høy renhet designet for å optimalisere plasmadistribusjon og waferprosessuniformitet i halvlederproduksjon. Å velge Semicorex betyr å sikre konsistent kvalitet, avansert materialteknikk og pålitelig ytelse som er pålitelig av ledende halvlederfabrikker over hele verden.*
Les merSend forespørsel