Fokusring eller kantringer er designet for å forbedre etsningens jevnhet rundt waferkanten eller omkretsen.
Semicorex fokusringer er silisiumkarbidbelagt ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD) gir overlegen varmebestandighet, jevn termisk jevnhet for konsistent epilagtykkelse og motstand, og holdbar kjemisk motstand, som er bygget for å tåle de ekstreme miljøene i plasmaetsing eller tørretsingsprosess. .