Kina Spesialitetsgrafitt produsenter, leverandører, fabrikk

Spesialgrafitt er en slags kunstig grafitt som blir behandlet. Det er et viktig materiale som er uunnværlig i alle aspekter av halvleder- og fotovoltaisk produksjonsprosess, inkludert krystallvekst, ionimplantasjon, epitaxy, etc.

1. Silisiumkarbid (SIC) krystallvekst

Silisiumkarbid, som tredje generasjons halvledermateriale, er mye brukt i nye energikjøretøyer, 5G-kommunikasjon og andre felt. I 6-tommers og 8-tommers SIC-krystallvekstprosess brukes isostatisk grafitt først og fremst for å produsere følgende nøkkelkomponenter:

Grafitt Crucible: Dette kan brukes til å syntetisere SIC -pulvermaterialet og også hjelpe til med krystallvekst ved høye temperaturer. Dens høye renhet, høye temperaturmotstand og termisk sjokkmotstand sikrer et stabilt krystallvekstmiljø.

Grafittvarmer: Dette gir ensartet varmefordeling, noe som sikrer SIC-krystallvekst av høy kvalitet.

Isolasjonsrør: Dette opprettholder temperaturenhet i krystallvekstovnen og reduserer varmetapet.

2. ionimplantasjon

Ionimplantasjon er en nøkkelprosess i halvlederproduksjon. Isostatisk grafitt brukes først og fremst til å produsere følgende komponenter i ion -implantater:

Grafittgetter: Denne absorberer urenheter i ionestrålen, og sikrer ionens renhet.

Grafittfokuseringsring: Dette fokuserer ionestrålen, forbedrer ionimplantatnøyaktighet og effektivitet. Grafittsubstratbrett: Brukes til å støtte silisiumskiver og opprettholde stabilitet og konsistens under ionimplantasjon.

3. Epitaxy prosess

Epitaxy -prosessen er et kritisk trinn i produksjonen av halvlederenheter. Isostatisk presset grafitt brukes først og fremst til å produsere følgende komponenter i epitaksiske ovner:

Grafittbrett og masceptorer: Brukes til å støtte silisiumskiver, og gir stabil støtte og ensartet varmeledning under epitaksiprosessen.

4. Annets applikasjoner for halvlederproduksjon

Isostatisk presset grafitt er også mye brukt i følgende halvlederproduksjonsapplikasjoner:

Etsingsprosess: Brukes til å produsere grafittelektroder og beskyttende komponenter for etskere. Dets korrosjonsmotstand og høy renhet sikrer stabilitet og presisjon i etsingsprosessen.

Kjemisk dampavsetning (CVD): Brukes til å produsere grafittbrett og varmeovner i CVD -ovner. Den høye termiske ledningsevnen og høye temperaturresistens sikrer ensartet tynnfilmavsetning.

Emballasjetesting: Brukes til å produsere testarmaturer og bærerbrett. Dens høye presisjon og lave forurensning sikrer nøyaktige testresultater.

Fordeler med grafittdeler

Høy renhet:

Ved å bruke isostatisk presset grafittmateriale med ekstremt lavt urenhet, oppfyller det de strenge kravene til materiell renhet i halvlederproduksjon. Selskapets egen rensingsovn kan rense grafitt til under 5 ppm.

Høy presisjon:

Med avansert prosessutstyr og moden prosesseringsteknologi sikrer det at produktets dimensjonale nøyaktighet og form og posisjonstoleranser når mikronnivået.

Høy ytelse:

Produktet har utmerket høy temperaturmotstand, korrosjonsmotstand, strålingsmotstand, høy termisk ledningsevne og andre egenskaper, og oppfyller de forskjellige tøffe arbeidsforholdene for halvlederproduksjon.

Tilpasset tjeneste:

Tilpassede produktdesign og prosesseringstjenester kan leveres i henhold til kundenes behov for å imøtekomme behovene til forskjellige applikasjonsscenarier.

Typer grafittprodukter

(1) Isostatisk grafitt
Isostatiske grafittprodukter produseres av kald isostatisk pressing. Sammenlignet med andre formingsmetoder, har diglene produsert av denne prosessen utmerket stabilitet. Grafittproduktene som kreves for SIC enkeltkrystaller er alle store i størrelse, noe som vil føre til ujevn renhet på overflaten og inne i grafittproduktene, som ikke kan oppfylle brukskravene. For å oppfylle de dype rensekravene til store grafittprodukter som kreves for SIC-krystaller, bør en unik termokjemisk pulsrensingsprosess med høy temperatur tas ut for å oppnå dyp og ensartet rensing av storstørrelse eller spesialformede grafittprodukter, slik at renheten til produktoverflaten og kjernen kan oppfylle brukskravene.

(2) Porøs grafitt
Porøs grafitt er en type grafitt med høy porøsitet og lav tetthet. I SIC -krystallvekstprosessen spiller porøs grafitt en betydelig rolle i å forbedre masseoverføringseniformiteten, redusere forekomsten av faseendring og forbedre krystallformen.
Bruken av porøs grafitt forbedrer temperatur- og temperaturenheten i råstoffområdet, øker den aksiale temperaturforskjellen i digelen, og har også en viss effekt på å svekke rekrystalliseringen av råstoffoverflaten; I vekstkammeret forbedrer porøs grafitt stabiliteten til materialstrømmen gjennom vekstprosessen, øker C/Si -forholdet til vekstområdet, bidrar til å redusere sannsynligheten for faseendring, og samtidig spiller porøs grafitt også en rolle i å forbedre krystallgrensesnittet.

(3) Felt
Myk filt og hardt følte begge spiller rollen som viktige termiske isolasjonsmaterialer i SIC -krystallvekst og epitaksiale koblinger.

(4) Grafittfolie
Grafittpapir er et funksjonelt materiale laget av høykarbonflakgrafitt gjennom kjemisk behandling og rulling med høy temperatur. Det har høy termisk ledningsevne, elektrisk ledningsevne, fleksibilitet og korrosjonsmotstand.

(5) Komposittmaterialer
Karbon-karbon termisk felt er en av de viktigste forbruksvarene i fotovoltaisk enkeltkrystallovnproduksjon.

Semikorexproduksjon

Semicorex lager grafitt med småbatch, tilpassede produksjonsmetoder. Produksjonen med liten batch gjør produktene mer kontrollerbare. Hele prosessen styres av programmerbare logiske kontrollere (PLS), de detaljerte prosessdataene ble registrert, noe som muliggjorde fullstendig livssyklus -sporbarhet.

Under hele stekeprosessen oppnådde konsistensen i resistivitet på forskjellige steder, og den tette temperaturkontrollen opprettholdes. Dette sikrer homogeniteten og påliteligheten til grafittmaterialene.

Semicorex bruker fullt isostatisk pressingsteknologi, som er forskjellig fra andre leverandører; Det betyr at grafitten er ultrauniform i seg selv og er bevist spesielt viktig i epitaksiale prosesser. De omfattende materialenhetstestene ble utført, inkludert tetthet, resistivitet, hardhet, bøyestyrke og styrke på tvers av forskjellige prøver.