TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
Prosjekter |
Parametere |
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissivitet |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardhet (HK) |
2000 |
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex Halfmoon Part for LPE er en TaC-belagt grafittkomponent designet for bruk i LPE-reaktorer, og spiller en kritisk rolle i SiC-epitaksiprosesser. Velg Semicorex for sine slitesterke komponenter av høy kvalitet som sikrer optimal ytelse og pålitelighet i krevende miljøer for produksjon av halvledere.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC Plate er en høyytelses, TaC-belagt grafittkomponent designet for bruk i SiC-epitaksi-vekstprosesser. Velg Semicorex for sin ekspertise innen produksjon av pålitelige materialer av høy kvalitet som optimerer ytelsen og levetiden til ditt halvlederproduksjonsutstyr.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC-belagt grafittdel er en høyytelseskomponent designet for bruk i SiC-krystallvekst- og epitaksiprosesser, med et slitesterkt tantalkarbidbelegg som forbedrer termisk stabilitet og kjemisk motstand. Velg Semicorex for våre innovative løsninger, overlegne produktkvalitet og ekspertise i å levere pålitelige, langvarige komponenter skreddersydd for å møte de krevende behovene til halvlederindustrien.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coated Graphite Chuck er en høyytelseskomponent designet for presis waferhåndtering og høytemperaturprosesser i halvlederproduksjon. Velg Semicorex for sine innovative, holdbare produkter som sikrer optimal ytelse og lang levetid i krevende halvlederapplikasjoner.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC-ring er en høyytelseskomponent designet for SiC-enkrystallvekst, som sikrer optimal gassstrømfordeling og temperaturkontroll. Velg Semicorex for vår ekspertise innen avanserte materialer og presisjonsteknikk, som gir holdbare og pålitelige løsninger som forbedrer effektiviteten og kvaliteten til halvlederprosessene dine.*
Les merSend forespørselSemicorex Tantalum Carbide Part er en TaC-belagt grafittkomponent designet for bruk med høy ytelse i silisiumkarbid (SiC) krystallvekstapplikasjoner, og tilbyr utmerket temperatur- og kjemisk motstand. Velg Semicorex for pålitelige komponenter av høy kvalitet som forbedrer krystallkvalitet og produksjonseffektivitet i halvlederproduksjon.*
Les merSend forespørsel