TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
|
Prosjekter |
Parametere |
|
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emissivitet |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Hardhet (HK) |
2000 |
|
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
|
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
|
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth er en verdifull maskinert del plassert i luftinntaket i den epitaksiale prosessen i halvleder. Semicorex er et førsteklasses selskap som spesialiserer seg på CVD TaC-beleggteknologi i Kina, og eksporterer produkter over hele verden.*
Les merSend forespørselTaC-belagt frøkrystallholder er en høyytelseskomponent spesielt designet for vekstmiljøet til halvledermaterialer. Som en ledende produsent av TTaC-belagte frøkrystallholdere, tilbyr semicorex deg effektive kjernekomponentløsninger innen avansert halvlederproduksjon.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coating Pedestal Supporter er en kritisk komponent designet for epitaksiale vekstsystemer, spesielt skreddersydd for å støtte reaktorsokler og optimalisere prosessgassstrømfordeling. Semicorex leverer en høyytelses, presisjonskonstruert løsning som kombinerer overlegen strukturell integritet, termisk stabilitet og kjemisk motstand – som sikrer konsistent, pålitelig ytelse i avanserte epitaksiapplikasjoner.*
Les merSend forespørselSemicorex CVD TaC Coated Susceptor er en førsteklasses løsning designet for MOCVD epitaksiale prosesser, og gir enestående termisk stabilitet, renhet og korrosjonsbestandighet under ekstreme prosessforhold. Semicorex fokuserer på presisjonskonstruert beleggsteknologi som sikrer konsistent waferkvalitet, forlenget komponentlevetid og pålitelig ytelse i hver produksjonssyklus.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coated Crucibles er høyytelsesbeholdere designet for ekstreme temperaturapplikasjoner, egnet for både metallsmelting og avanserte halvlederprosesser. Å velge Semicorex betyr å få tilgang til banebrytende beleggteknologi og ingeniørekspertise som gir eksepsjonell renhet, holdbarhet og stabilitet i de mest krevende miljøene.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coated Planetary Plate er en høypresisjonskomponent designet for MOCVD epitaksial vekst, med planetarisk bevegelse med flere waferlommer og optimert gassstrømkontroll. Å velge Semicorex betyr tilgang til avansert beleggteknologi og ingeniørekspertise som gir eksepsjonell holdbarhet, renhet og prosessstabilitet for halvlederindustrien.*
Les merSend forespørsel