TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
Prosjekter |
Parametere |
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissivitet |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardhet (HK) |
2000 |
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex MOCVD Susceptor med TaC Coating er en banebrytende komponent som er omhyggelig utformet for optimal ytelse i halvlederepitaksiprosesser i MOCVD-systemer. Semicorex er urokkelig i vår forpliktelse til å levere overlegne produkter til svært konkurransedyktige priser. Vi er ivrige etter å etablere et varig partnerskap med deg i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex CVD TaC Coated Ring regjerer som en kritisk komponent i halvlederbehandling, som symboliserer toppen av moderne materialteknikk. Denne ringen er laget for implementering i de mest strenge miljøer der presisjon og pålitelighet er overordnet, og legemliggjør fusjonen av banebrytende beleggsteknikker med spenstig materialvitenskap. Semicorex leverer standhaftig toppprodukter til konkurransedyktige priser, og vi ser frem til å inngå et langvarig samarbeid med deg i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor er en høyt spesialisert komponent designet for bruk i de epitaksiale prosessene ved halvlederproduksjon. Semicorex er dedikert til å levere toppkvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser. Vi er ivrige etter å etablere et langsiktig partnerskap med deg i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex Tantalum Carbide Coating Guide Ring er en avansert komponent spesielt utviklet for halvlederindustrien, og spiller en avgjørende rolle i veksten av silisiumkarbid (SiC) krystaller. Dette produktet er konstruert for å møte de strenge kravene til høytemperatur- og høystressmiljøer som er iboende i halvlederkrystallvekstprosesser. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex Tantalum Carbide Coating Graphite Crucible er en spesialisert komponent designet for bruk i halvlederindustrien, spesielt i veksten av silisiumkarbid (SiC) krystaller. Denne høyytelsesdigelen skiller seg ut på grunn av sin unike materialsammensetning og strukturelle design, noe som gjør den til et uunnværlig verktøy i avanserte krystallvekstprosesser. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex Tantalum Carbide Crucible er en avgjørende komponent i halvlederindustrien, spesielt designet for vekst av silisiumkarbid (SiC) krystaller. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørsel