Krystallvekstovnen er kjerneutstyret for vekst av silisiumkarbidkrystaller. Det ligner på den tradisjonelle krystallinske krystallovnen i silisiumkvalitet. Ovnstrukturen er ikke veldig komplisert. Det er hovedsakelig sammensatt av ovnskroppen, varmesystemet, spiraloverføringsmekanismen, vakuuminnsam......
Les mer