Pannekake susceptor, en rund form av wafer-bærer brukt i halvlederbehandling.
Epitaksi er et avgjørende trinn i halvlederbehandling som vokser det epitaksiale laget på halvlederskiver, der skivene bæres på grafittsusceptorene. Kvalitetene til grafittsusceptorer er nøkkelfaktorer for kvaliteten på epi-wafere.
Grafittsusceptorer med silisiumkarbidbelegg
Semicorex leverer susceptorer og komponenter til alle epitaksereaktorer, inkluderttønnesusceptorerog pannekakemottakere. Vi bruker høyrent grafitt og CVD SiC-belegg.