Semicorex RTP-bærer er silisiumkarbidbelagt ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD), som er veldig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring. I kjernen av halvlederprosessen, epitaksi-susceptorene, blir først utsatt for avsetningsmiljøet, så det har høy varme- og korrosjonsmotstand. Den SiC-belagte bæreren har også en høy varmeledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper.
● SiC-belagt grafitt med høy renhet
● Overlegen varmebestandighet og kjemikaliebestandighet
● Høy termisk jevnhet
● Utmerket slitestyrke
Semicorex RTP Ring er en SiC-belagt grafittring designet for høyytelsesapplikasjoner i Rapid Thermal Processing (RTP)-systemer. Velg Semicorex for vår avanserte materialteknologi, som sikrer overlegen holdbarhet, presisjon og pålitelighet i halvlederproduksjon.*
Les merSend forespørselSemicorex sin RTP Graphite Carrier Plate er den perfekte løsningen for prosessering av halvlederskiver, inkludert epitaksial vekst og prosessering av waferhåndtering. Produktet vårt er designet for å tilby overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, og sikrer at epitaksi-susceptorene blir utsatt for avsetningsmiljøet, med høy varme- og korrosjonsbestandighet.
Les merSend forespørselSemicorex RTP SiC Coating Carrier tilbyr overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, noe som gjør den til den perfekte løsningen for behandling av halvlederskiver. Med sin høykvalitets SiC-belagte grafitt, er dette produktet designet for å tåle de tøffeste avsetningsmiljøene for epitaksial vekst. Den høye varmeledningsevnen og utmerkede varmefordelingsegenskapene sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Les merSend forespørselSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier er konstruert for å tåle de tøffeste forholdene i avsetningsmiljøet. Med sin høye varme- og korrosjonsbestandighet er dette produktet designet for å gi optimal ytelse for epitaksial vekst. Den SiC-belagte bæreren har høy varmeledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper, noe som sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Les merSend forespørselSemicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate for MOCVD tilbyr overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, noe som gjør den til den perfekte løsningen for behandling av halvlederskiver. Med en SiC-belagt grafitt av høy kvalitet, er dette produktet konstruert for å tåle de tøffeste avsetningsmiljøene for epitaksial vekst. Den høye varmeledningsevnen og utmerkede varmefordelingsegenskapene sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Les merSend forespørselSemicorex SiC-belagt RTP-bærerplate for epitaksial vekst er den perfekte løsningen for behandling av halvlederskiver. Med sine høykvalitets karbongrafitt-susceptorer og kvartsdigler behandlet av MOCVD på overflaten av grafitt, keramikk, etc., er dette produktet ideelt for waferhåndtering og epitaksial vekstbehandling. Den SiC-belagte bæreren sikrer høy varmeledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper, noe som gjør den til et pålitelig valg for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Les merSend forespørsel