Semicorex RTP-bærer er silisiumkarbidbelagt ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD), som er veldig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring. I kjernen av halvlederprosessen, epitaksi-susceptorene, blir først utsatt for avsetningsmiljøet, så det har høy varme- og korrosjonsmotstand. Den SiC-belagte bæreren har også en høy varmeledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper.
● SiC-belagt grafitt med høy renhet
● Overlegen varmebestandighet og kjemikaliebestandighet
● Høy termisk jevnhet
● Utmerket slitestyrke
Semicorex SiC-belagte grafittplater er bærere med høy renhet spesifikt konstruert for de strenge kravene til SiC- og GaN-epitaksi, og bruker et tett CVD-silisiumkarbidbelegg på et isostatisk grafittsubstrat for å gi en stabil, kjemisk inert termisk barriere for høyytelses-wafer-behandling. Semicorex leverer kvalifiserte produkter og tjenester til globale kunder.*
Les merSend forespørselSemicorex RTP SIC beleggplater er høyytelsesskivebærere konstruert for bruk i krevende raske termiske prosesseringsmiljøer. Semicorx leverer overlegen termisk stabilitet, holdbarhet og forurensningskontroll støttet av strenge kvalitetsstandarder og presisjonsproduksjon.
Les merSend forespørselSemicorex RTP Ring er en SiC-belagt grafittring designet for høyytelsesapplikasjoner i Rapid Thermal Processing (RTP)-systemer. Velg Semicorex for vår avanserte materialteknologi, som sikrer overlegen holdbarhet, presisjon og pålitelighet i halvlederproduksjon.*
Les merSend forespørselSemicorex sin RTP Graphite Carrier Plate er den perfekte løsningen for prosessering av halvlederskiver, inkludert epitaksial vekst og prosessering av waferhåndtering. Produktet vårt er designet for å tilby overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, og sikrer at epitaksi-susceptorene blir utsatt for avsetningsmiljøet, med høy varme- og korrosjonsbestandighet.
Les merSend forespørselSemicorex RTP SiC Coating Carrier tilbyr overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, noe som gjør den til den perfekte løsningen for behandling av halvlederskiver. Med sin høykvalitets SiC-belagte grafitt, er dette produktet designet for å tåle de tøffeste avsetningsmiljøene for epitaksial vekst. Den høye varmeledningsevnen og utmerkede varmefordelingsegenskapene sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Les merSend forespørselSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier er konstruert for å tåle de tøffeste forholdene i avsetningsmiljøet. Med sin høye varme- og korrosjonsbestandighet er dette produktet designet for å gi optimal ytelse for epitaksial vekst. Den SiC-belagte bæreren har høy varmeledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper, noe som sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Les merSend forespørsel