Hjem > Produkter > Silisiumkarbidbelagt > RTP-operatør > RTP grafittbærerplate
RTP grafittbærerplate

RTP grafittbærerplate

Semicorex sin RTP Graphite Carrier Plate er den perfekte løsningen for prosessering av halvlederskiver, inkludert epitaksial vekst og prosessering av waferhåndtering. Produktet vårt er designet for å tilby overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, og sikrer at epitaksi-susceptorene blir utsatt for avsetningsmiljøet, med høy varme- og korrosjonsbestandighet.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Vårt produkt har SiC-belagt grafitt med høy renhet, som gir utmerkede varmefordelingsegenskaper, noe som sikrer at den SiC-belagte bæreren har en jevn overflate, fri for sprekker og delaminering. Vår RTP Graphite Carrier Plate er fint silisiumkarbidbelagt, noe som sikrer at overflaten er glatt og fri for defekter. Dette produktet er svært holdbart mot hard kjemisk rengjøring og er designet for å sikre at sprekker og delaminering ikke oppstår.
Vi tilbyr en prisfordel som våre konkurrenter ikke kan matche, og vi er forpliktet til å bli din langsiktige partner i Kina.
Med vår RTP-grafittbærerplate kan du være trygg på utmerket ytelse, overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet. Den SiC-belagte bæreren er designet for å tåle høye temperaturer og er svært motstandsdyktig mot kjemisk rengjøring, noe som sikrer at den varer i mange år. Produktet vårt er også designet for å være enkelt å bruke, noe som gjør det ideelt for både nye og erfarne brukere.
Hos Semicorex er vi forpliktet til å tilby produkter og tjenester av høy kvalitet til våre kunder. Vi bruker kun de beste materialene, og produktene våre er designet for å møte de høyeste standardene for kvalitet og ytelse. Vår RTP Graphite Carrier Plate er intet unntak. Kontakt oss i dag for å lære mer om hvordan vi kan hjelpe deg med behandlingsbehovet for halvlederwafer.


Parametre for RTP grafittbærerplate

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg

SiC-CVD-egenskaper

Krystallstruktur

FCC β-fase

Tetthet

g/cm³

3.21

Hardhet

Vickers hardhet

2500

Kornstørrelse

μm

2~10

Kjemisk renhet

%

99.99995

Varmekapasitet

J kg-1 K-1

640

Sublimeringstemperatur

2700

Feleksural styrke

MPa (RT 4-punkts)

415

Youngs modul

Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)

430

Termisk ekspansjon (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Termisk ledningsevne

(W/mK)

300


Funksjoner av RTP Graphite Carrier Plate

SiC-belagt grafitt med høy renhet
Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet
Fin SiC-krystallbelagt for en jevn overflate
Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring
Materialet er utformet slik at det ikke oppstår sprekker og delaminering.





Hot Tags: RTP grafittbærerplate, Kina, produsenter, leverandører, fabrikk, tilpasset, bulk, avansert, holdbar

Relatert kategori

Send forespørsel

Gi gjerne din forespørsel i skjemaet nedenfor. Vi svarer deg innen 24 timer.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept