RTP SiC Coating Carrier

Semicorex RTP SiC Coating Carrier tilbyr overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, noe som gjør den til den perfekte løsningen for behandling av halvlederskiver. Med sin høykvalitets SiC-belagte grafitt, er dette produktet designet for å tåle de tøffeste avsetningsmiljøene for epitaksial vekst. Den høye varmeledningsevnen og utmerkede varmefordelingsegenskapene sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Vår RTP SiC Coating Carrier er konstruert for å tåle de tøffeste forholdene i avsetningsmiljøet. Med sin høye varme- og korrosjonsbestandighet utsettes epitaksi-susceptorene for det perfekte avsetningsmiljøet for epitaksial vekst. Det fine SiC-krystallbelegget på bæreren sikrer en jevn overflate og høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring, mens materialet er konstruert for å forhindre sprekker og delaminering.
Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektiv RTP SiC-beleggsbærer, vi prioriterer kundetilfredshet og gir kostnadseffektive løsninger. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner, levere produkter av høy kvalitet og eksepsjonell kundeservice.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår RTP SiC Coating Carrier.

Parametre for RTP SiC Coating Carrier

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner av RTP SiC Coating Carrier

SiC-belagt grafitt med høy renhet
Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet
Fin SiC-krystallbelagt for en jevn overflate
Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring
Materialet er utformet slik at det ikke oppstår sprekker og delaminering.