Hjem > Produkter > Silisiumkarbidbelagt > RTP-operatør > RTP-bærer for MOCVD epitaksial vekst
RTP-bærer for MOCVD epitaksial vekst

RTP-bærer for MOCVD epitaksial vekst

Semicorex RTP-bærer for MOCVD Epitaxial Growth er ideell for prosessering av halvlederwafere, inkludert epitaksial vekst og prosessering av waferhåndtering. Karbongrafittsusceptorer og kvartsdigler behandles av MOCVD på overflaten av grafitt, keramikk osv. Våre produkter har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex leverer RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth som brukes til å støtte wafere, som er veldig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring. I kjernen av prosessen, epitaksi-susceptorene, blir først utsatt for avsetningsmiljøet, så det har høy varme- og korrosjonsbestandighet. Den SiC-belagte bæreren har også en høy varmeledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper.
Vår RTP-bærer for MOCVD epitaksial vekst er designet for å oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret, og sikrer jevn termisk profil. Dette bidrar til å forhindre forurensning eller diffusjon av urenheter, og sikrer høykvalitets epitaksial vekst på waferbrikken.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår RTP-bærer for MOCVD epitaksial vekst.


Parametre for RTP-bærer for MOCVD epitaksial vekst

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg

SiC-CVD-egenskaper

Krystallstruktur

FCC β fase

Tetthet

g/cm³

3.21

Hardhet

Vickers hardhet

2500

Korn størrelse

μm

2~10

Kjemisk renhet

%

99.99995

Varmekapasitet

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimeringstemperatur

2700

Feleksural styrke

MPa (RT 4-punkts)

415

Youngs modul

Gpa (4pt bend, 1300â)

430

Termisk ekspansjon (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Termisk ledningsevne

(W/mK)

300


Funksjoner av RTP Carrier for MOCVD epitaksial vekst

SiC-belagt grafitt med høy renhet
Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet
Fin SiC-krystallbelagt for en jevn overflate
Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring
Materialet er utformet slik at det ikke oppstår sprekker og delaminering.





Hot Tags: RTP-bærer for MOCVD epitaksial vekst, Kina, produsenter, leverandører, fabrikk, tilpasset, bulk, avansert, holdbar

Relatert kategori

Send forespørsel

Gi gjerne din forespørsel i skjemaet nedenfor. Vi svarer deg innen 24 timer.