Silisiumkarbidkeramikk (SiC) er et avansert keramisk materiale som inneholder silisium og karbon. Korn av silisiumkarbid kan bindes sammen ved sintring for å danne svært hard keramikk. Semicorex leverer tilpasset silisiumkarbidkeramikk etter behov.
applikasjoner
Med silisiumkarbidkeramikk forblir materialegenskapene konstante opp til temperaturer over 1400°C. Den høye Youngs modul > 400 GPa sikrer utmerket dimensjonsstabilitet.
En typisk anvendelse for silisiumkarbidkomponenter er dynamisk tetningsteknologi ved bruk av friksjonslagre og mekaniske tetninger, for eksempel i pumper og drivsystemer.
Med de avanserte egenskapene er silisiumkarbidkeramikk også ideell for bruk i halvlederindustrien.
Wafer båter
Semicorex Wafer Boat er laget av sintret silisiumkarbidkeramikk, som har god motstand mot korrosjon og utmerket motstand mot høye temperaturer og termisk sjokk. Avansert keramikk gir utmerket termisk motstand og plasmaholdbarhet, samtidig som de reduserer partikler og forurensninger for høykapasitets waferbærere.
Reaksjonssintret silisiumkarbid
Sammenlignet med andre sintringsprosesser er størrelsesendringen av reaksjonssintring under fortettingsprosessen liten, og produkter med nøyaktige dimensjoner kan produseres. Tilstedeværelsen av en stor mengde SiC i det sintrede legemet gjør imidlertid høytemperaturytelsen til reaksjonssintret SiC-keramikk dårligere.
Trykkløs sintret silisiumkarbid
Trykkløs sintret silisiumkarbid (SSiC) er en spesielt lett og samtidig hard høyytelses keramikk. SSiC er preget av høy styrke, som forblir nesten konstant selv ved ekstreme temperaturer.
Rekrystall silisiumkarbid
Omkrystallisert silisiumkarbid (RSiC) er neste generasjons materialer dannet ved å blande grovt silisiumkarbidpulver med høy renhet og fint silisiumkarbidpulver med høy aktivitet, og etter fuging, vakuumsintring ved 2450 ° C for å omkrystallisere.
|
|
Reaksjonssintret silisiumkarbid |
Trykkløs sintret silisiumkarbid |
Omkrystallisert silisiumkarbid |
Typiske egenskaper |
Enheter |
Verdier |
|
|
Romvekt |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Fleksibilitetsstyrke |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20 °C) |
Trykkfasthet |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Hardhet |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Termisk ledningsevne |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koeffisient for termisk ekspansjon |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Spesifikk varme |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maks temperatur i luft |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastisk modul |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Fleksibilitetsstyrke |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20 °C) |
Semicorex Wafer Boat Carrier står som et høydepunkt for innovasjon innen halvlederprosessering. Denne bæreren er omhyggelig laget av grafitt og forsterket med et banebrytende belegg av kjemisk dampavsetning (CVD) silisiumkarbid (SiC), og eksemplifiserer presisjonsteknikk og avansert materialvitenskap. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex Baffle Wafer Boat er et svært avansert utstyr som brukes i halvlederbehandling. Den er omhyggelig utformet for å sikre at de delikate skivene holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex Zirconia ZrO2 Robot Arm, en viktig komponent i halvlederbehandling for sømløs waferoverføring og håndtering. Denne keramiske armen er laget for å tåle de strenge kravene fra høye temperaturer, etsende og slitende miljøer, og har enestående holdbarhet og pålitelighet. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex Zirconia keramisk munnstykke, laget med omhyggelig oppmerksomhet på detaljer, står denne munnstykket som selve symbolet på fortreffelighet når det gjelder å kontrollere strømningshastigheten til både gasser og væsker med uovertruffen ensartethet og presisjon. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex Aluminium Nitride Ceramic Chuck representerer en banebrytende løsning for prosessering av halvlederskiver, spesielt designet for å holde wafere sikkert på plass under ulike stadier av produksjonen. Denne innovative enheten fungerer som en elektrostatisk chuck (ESC), og utnytter de eksepsjonelle egenskapene til aluminiumnitridkeramikk for å sikre presis og pålitelig oppbevaring av wafer. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex Aluminum Nitride (AlN) Wafer Holder står som en uunnværlig komponent innen halvlederprosessering, og fungerer som en sentral plattform for sikker å holde delikate wafere gjennom ulike stadier av fabrikasjonen. Laget av høykvalitets aluminiumnitridmateriale, kjent for sin eksepsjonelle termiske ledningsevne, mekaniske styrke og elektriske isolasjonsegenskaper, sikrer denne waferholderen optimale forhold for presise og effektive halvlederproduksjonsprosesser. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel