Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Spesialdesignet for ekstreme temperaturapplikasjoner, varmpressede boronitridedigler er uunnværlige keramiske beholdere som fungerer som de strålende løsningene både for metallsmelting og fordampningsprosesser og halvlederkrystallvekstprosesser.
Les merSend forespørselSIC termoelementbeskyttelsesrør er produsert av høykvalitets silisiumkarbidmaterialer og er avanserte keramiske løsninger som brukes for å beskytte termoelementer fra å fungere normalt i krevende høytemperaturmiljøer. Velg Semicorex for presisjonskonstruerte SIC termoelementbeskyttelsesrør som sikrer jevn kvalitet, kostnadseffektiv pris og maksimert kjøleeffektivitet.
Les merSend forespørselLaget av den høyytende silisiumkarbidkeramikken, er silisiumkarbidkjølekanaler effektive rørkomponenter som brukes i kjøleprosesser i industrielle ovner med høy temperatur. Velg Semicorex for presisjonskonstruerte silisiumkarbidkjølekanaler som sikrer jevn kvalitet, kostnadseffektiv pris og maksimert kjøleeffektivitet.
Les merSend forespørselSemicorex Carbon Ceramic Brake er laget av avanserte karbonkeramiske kompositter, som er et avansert materiale som er svært egnet for arbeidsmiljøet med høy temperatur. Semicorex leverer skreddersydde produkter i henhold til applikasjonene og kundenes krav.*
Les merSend forespørselSilicon Carbide ICP Etching Plate er uunnværlig waferholder produsert av sintret silisiumkarbidkeramikk med høy renhet. Spesialdesignet av Semicorex, fungerer den som de avgjørende muliggjørerne for induktivt koblet plasma (ICP) etse- og avsetningssystemer i den banebrytende halvlederindustrien.
Les merSend forespørselAluminiumnitrid-digler fra Semicorex er produsert av halvlederkvalitets AlN-keramikk, som er høyytelses-reaksjonskarene som brukes i utfordrende høytemperaturmiljøer. Semicorex tilbyr skreddersydd produksjon i henhold til kundens behov, og håndterer både store bestillinger og små batch-prototyper.
Les merSend forespørsel