Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex porøs keramisk chuck (Vacuum Chuck) er et høypresisjonsverktøy designet for å holde wafere sikkert under halvlederproduksjonsprosesser. Ved å velge Semicorex drar du nytte av en løsning som tilbyr eksepsjonell ytelse, holdbarhet og tilpasningsmuligheter, som sikrer økt produksjonseffektivitet og konsistente kvalitetsstandarder.*
Les merSend forespørselSemicorex Alumina Vacuum Chucks er presisjonskonstruerte komponenter designet for å holde wafere eller underlag sikkert under kritiske halvleder- og presisjonsproduksjonsprosesser. Med Semicorex sin forpliktelse til materialer av høy kvalitet og banebrytende produksjonsteknikker, gir våre Alumina Vacuum Chucks uovertruffen pålitelighet, presisjon og ytelse for dine mest krevende bruksområder.*
Les merSend forespørselSemicorex Vacuum Chuck er en høyytelseskomponent designet for sikker og presis waferhåndtering i halvlederproduksjon. Velg Semicorex for våre avanserte, holdbare og forurensningsbestandige løsninger som sikrer optimal ytelse i selv de mest krevende prosessene.*
Les merSend forespørselSemicorex Silicon Carbide Sleeve brukes ofte som en slitesterk og korrosjonsbestandig foring for utstyr som sylindre, pumper, ventiler, glidelagre og kverntromler.
Les merSend forespørselSemicorex Alumina isolasjonsring brukes som en isolator i forskjellige elektriske komponenter, dens utmerkede elektriske isolasjonsegenskaper sikrer pålitelig ytelse i applikasjoner der det er viktig å forhindre elektrisk ledning.
Les merSend forespørselSemicorex Silicon Carbide Liner er et allsidig og robust materiale som fungerer som en uvurderlig ressurs for å optimere effektiviteten og levetiden til industrielt prosessutstyr.
Les merSend forespørsel