Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex SiC-belagte gassavledningsskiver er de uunnværlige grafittkomponentene som brukes i halvlederepitaksialutstyret, konstruert spesielt for å regulere reaksjonsgassstrømmen og fremme jevn gassfordeling i reaksjonskammeret. Velg Semicorex, velg de optimale gassavledningsløsningene for høykvalitets waferepitaksiale resultater.
Les merSend forespørselSemicorex SiC Wafer Carrier er laget av silisiumkarbidkeramikk med høy renhet, gjennom 3D-printteknologi, noe som betyr at den kan oppnå høyverdige maskineringskomponenter på kort tid. Semicorex anses å levere kvalifiserte høykvalitetsprodukter til våre globale kunder.*
Les merSend forespørselSemicorex CVD SiC-belagte øvre jordringer er de essensielle ringformede komponentene som er konstruert spesielt for det sofistikerte plasmaetseutstyret. Som den bransjeledende leverandøren av halvlederkomponenter, fokuserer Semicorex på å levere høykvalitets, langvarige og ultrarene CVD SiC-belagte øvre jordringer for å hjelpe våre verdsatte kunder med å forbedre driftseffektiviteten og den generelle produktkvaliteten.
Les merSend forespørselSemicorex SiC Seals er høyytelses mekaniske overflatekomponenter konstruert for å gi overlegen slitestyrke, termisk stabilitet og universell kjemisk treghet i de mest krevende roterende utstyrsmiljøene. Semicorex er en profesjonell SiC keramisk materialeleverandør, som kan levere høypresisjonsprodukter til globale kunder.*
Les merSend forespørselSemicorex SiC Pidestal er en høypresisjon, multifunksjonell maskinvarekomponent designet for å gi den termiske stabiliteten og intrikate væskefordelingen som kreves for avanserte mikrokanalreaksjonssystemer. Semicorex spesialiserer seg på konstruksjon og levering av disse høyrente SiC-sokkelene i henhold til kundenes behov.*
Les merSend forespørselSemicorex alumina wafer poleringsplater er de høyytende poleringskomponentene laget av alumina keramikk, som er konstruert spesielt for wafer poleringsprosesser i high-end halvlederindustrien. Velg Semicorex, velg produktene med kostnadseffektive priser, eksepsjonell holdbarhet og svært effektiv behandlingsytelse.
Les merSend forespørsel