Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex karbon keramiske bremser er den ultimate bremseløsningen for applikasjoner med høy ytelse. Velg Semicorex for uovertruffen materialkompetanse, presisjonsproduksjon og bevist pålitelighet som er klarert av å lede OEM -er over hele verden.*
Les merSend forespørselSemikorex aluminiumnitridvarmere er keramiske varmeelementer med høy ytelse kjent for sin eksepsjonelle termiske ledningsevne, rask respons og elektrisk isolasjon. Å velge semikorex betyr samarbeid med en pålitelig ekspert på avanserte keramiske teknologier-leverende presisjons-konstruerte løsninger, jevn kvalitet og responsiv teknisk støtte tilpasset søknadsbehovene dine.*
Les merSend forespørselSemicorex 4-tommers SIC-båter er skivebærere med høy ytelse designet for overlegen termisk og kjemisk stabilitet i halvlederproduksjon. Semicorx, som er pålitelig av bransjeledere, kombinerer avansert materialkompetanse med presisjonsteknikk for å levere produkter som forbedrer utbytte, pålitelighet og driftseffektivitet.*
Les merSend forespørselSemicorex Aln-varmeovner er avanserte keramiske baserte varmeelementer designet for termiske applikasjoner med høy ytelse. Disse varmeovnene tilbyr eksepsjonell termisk ledningsevne, elektrisk isolasjon og motstand mot kjemisk og mekanisk stress, noe som gjør dem ideelle for krevende industrielle og vitenskapelige anvendelser. ALN -varmeovner gir presis og jevn oppvarming, og sikrer effektiv termisk styring i miljøer som krever høy pålitelighet og holdbarhet.*
Les merSend forespørselSemikorex silisiumkarbidbåter er skivebærere med høy ytelse designet for halvlederoksidasjons- og diffusjonsprosesser. Disse presisjons-konstruerte komponentene gir et stabilt miljø med høy renhet for silisiumskiver inne i ovnrør, noe som sikrer optimal prosesspålitelighet og effektivitet. *
Les merSend forespørselSemicorex karbon keramiske bremseklosser gir eksepsjonell styrke, varmebestandighet og pålitelig bremseytelse under alle forhold, noe som gjør dem til det ideelle valget for kjøretøy med høy ytelse, motorsport, luftfart og motorsykler. *
Les merSend forespørsel