Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex Sic vakuum chucks er keramisk armatur med høy ytelse designet for sikker wafer-adsorpsjon i halvlederproduksjon. Med overlegne termiske, mekaniske og kjemiske egenskaper sikrer det stabilitet og presisjon i krevende prosessmiljøer.*
Les merSend forespørselSemicorex PBN komposittvarmere er avanserte varmeelementer konstruert for høye temperaturer, ultra-rengjøre vakuummiljøer, mye brukt i halvleder, optoelektronikk og materialforskningsindustri. Velg Semicorex for bransjeledende kompetanse, tilpasning av små batch og kvalitet i verdensklasse i PBN-oppvarmingsløsninger.*
Les merSend forespørselSemicorex sic cantilever padler er høyytelses silisiumkarbid cantilever padler som brukes i halvleder termisk prosessutstyr, designet for stabilt wafer-håndtering i miljøer med høy temperatur. Å velge semikorex betyr å velge materialer med høy renhet, utmerket termisk stabilitet og bransjeledende presisjonsproduksjonsteknologi for å sikre at enhver kritisk prosess av deg er stabil og pålitelig.*
Les merSend forespørselSemikorex SIC -båtholdere er essensielle strukturelle komponenter som sikrer presis og pålitelig wafer -posisjonering i termisk prosessering av halvleder. Velg Semicorex for uovertruffen kvalitet, teknisk ekspertise og en forpliktelse til å fremme SIC-løsninger med høy renhet innen halvlederproduksjon.*
Les merSend forespørselSemikorex waferbåter er presisjons-konstruerte keramiske bærere designet for høye temperaturer med wafer-prosessering i halvlederproduksjon. Velg Semicorex for sin uovertrufne materialrenhet, avansert fabrikasjonsteknologi og forpliktelse til kvalitet som sikrer jevn ytelse i de mest krevende reneomsmiljøene.*
Les merSend forespørselSemikorexsic-rør er silisiumkarbidovnerør designet for halvleder høye temperaturprosesser, med utmerket termisk stabilitet og kjemisk korrosjonsmotstand. Velge semikorex råvarer med høy renhet, presisjonsproduksjonsprosesser og langsiktig pålitelighetsgarantier for å gi solid støtte for din halvlederproduksjonsprosess.*
Les merSend forespørsel