Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer silisiumkarbidbelagt fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Silicon Nitride Guide Roller av Semicorex representerer et høydepunkt innen avansert keramikkteknikk. Dette produktet tilbyr en bemerkelsesverdig blanding av mekaniske, termiske og elektriske egenskaper.**
Les merSend forespørselSemicorex Al2O3 Vacuum Chuck er designet for å møte de strenge kravene til ulike halvlederproduksjonsprosesser, inkludert tynning, terninger, rengjøring og transport av wafere. **
Les merSend forespørselSemicorex Alumina Ceramic Vacuum Chuck brukes i wafer-tynnings- og slipeprosessene ved halvlederproduksjon, og fungerer som et uunnværlig verktøy for å oppnå høy presisjon og pålitelig halvlederproduksjon.**
Les merSend forespørselSemicorex SiC Ceramic Seal Part står som et vitnesbyrd om banebrytende materialvitenskap og ingeniørdyktighet, designet for å møte de strenge kravene til høyytelses mekaniske tetningsapplikasjoner på tvers av en rekke bransjer.**
Les merSend forespørselSemicorex SiC O-ring er høyt verdsatt i en rekke bransjer for deres eksepsjonelle tetningsegenskaper og materialegenskaper. Bruken spenner over bruksområder der ekstreme forhold som høye temperaturer, aggressive kjemikalier, mekanisk stress og streng renslighet er rutine.**
Les merSend forespørselSemicorex Electrostatic Chuck E-Chuck er en høyt spesialisert komponent som brukes i halvlederindustrien for å holde wafere sikkert under ulike produksjonsprosesser. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.*
Les merSend forespørsel