Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex silisiumkarbid flatmembran er en høyytelses keramisk filtreringsløsning kjent for sin eksepsjonelle kjemiske motstand, termisk stabilitet og overlegen filtreringseffektivitet. Å velge semikorex betyr å velge bransjeledende teknologi støttet av nyskapende produksjonsprosesser og en forpliktelse til å levere pålitelige, kostnadseffektive løsninger som oppfyller de tøffeste filtreringsutfordringene.*
Les merSend forespørselSemikorex silisiumkarbidkomposittmembran er en avansert filtreringsløsning, og kombinerer de overordnede egenskapene til silisiumkarbid, aluminiumoksyd og kalsiumoksyd for å levere høyytelsesfiltrering i et bredt spekter av industrier. Semicorex er det pålitelige valget for denne nyskapende teknologien, og tilbyr uovertruffen kvalitet, pålitelighet og skreddersydde løsninger som sikrer optimal effektivitet og langsiktig ytelse for filtreringsbehovene dine.*
Les merSend forespørselSemikorex silisiumkarbidmembran er avanserte filtreringsløsninger som tilbyr overlegen kjemisk, termisk og mekanisk motstand, ideell for krevende industrielle anvendelser. Velg Semicorex for våre holdbare membraner av høy kvalitet som gir langvarig ytelse, effektivitet og pålitelighet, og sikrer optimale resultater i hver filtreringsprosess.*
Les merSend forespørselSemicorex SIC-membran er en høyytelses keramisk filtreringsløsning laget av silisiumkarbid med høy renhet, designet for utfordrende industrielle filtreringsapplikasjoner. Velg Semicorex for pålitelige, holdbare og effektive SIC-membraner som gir eksepsjonell ytelse og langsiktig verdi i selv de mest krevende miljøene.*
Les merSend forespørselSemicorex vakuum chucks er den perfekte løsningen for håndtering av wafer i halvleder- og presisjonsindustrier. Med en rekke basismaterialalternativer, tilpasning av keramisk plate og presis flathetskontroll, sikrer vakuumkukkene våre pålitelig skive stabilitet og utmerkede prosessresultater. Disse chucks er designet for å oppfylle de strenge kravene til moderne halvlederproduksjon, og leverer enestående ytelse, og sikrer at prosessene dine forblir effektive og kostnadseffektive.*
Les merSend forespørselSemicorex porøs Sic -vakuum chuck er designet for presis og pålitelig håndtering av wafer, og tilbyr tilpassbare materialalternativer for å oppfylle et bredt spekter av halvlederbehandlingsbehov. Velg Semicorex for sin forpliktelse til holdbare løsninger av høy kvalitet som gir optimal ytelse og effektivitet i alle applikasjoner.*
Les merSend forespørsel