Som profesjonell produksjon vil vi gjerne gi deg halvlederkomponenter. Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
SiC-belagte komponenter med høy renhet er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra grafitt forbruksvarer for krystall voksende varme soner (varmere, smeltedigel susceptorer, isolasjon), til høypresisjon grafitt komponenter for wafer prosessutstyr, slik som silisiumkarbid belagt grafitt susceptorer for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC)-belagt grafittkonstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk jevnhet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Slutteffektor →
Endeeffektor er robotens hånd som flytter halvlederskiver mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex SiC-prosessrør er laget av høyrent SiC-keramikk med CVD SiC-belegg, det er egnet for horisontal ovn i Semiconductor. Med tanke på produktkvaliteten og ettersalgsservicen er Semicorex den som ønsker å gjøre forretninger av høy kvalitet med våre verdensomspennende kunder.*
Les merSend forespørselSemicorex High Purity SiC Cantilever Paddle er laget av sintret SiC-keramikk med høy renhet, som er en strukturell del i horisontal ovn i halvleder. Semicorex er et erfarent selskap som leverer SiC-komponenter i halvlederindustrien.*
Les merSend forespørselMonokrystallinsk silisiumplanmål fra Semicorex er en avgjørende komponent i banebrytende halvlederproduksjonsindustri. Produsert av monokrystallinsk silisiummateriale av topp kvalitet, har den en svært ordnet krystallstruktur og bemerkelsesverdig renhet. Disse egenskapene gjør den til en ideell løsning for produksjon av pålitelige, høyytelses halvlederfilmer og optiske filmer.
Les merSend forespørselSemicorex silisiumkassettbåter er spesialiserte transportører produsert av 99,9999999 % høyrent monokrystallinsk og polykrystallinsk silisium, spesielt fokusert på produksjon av høye halvledere. Å velge Semicorex betyr at du vil dra nytte av pålitelig kvalitet, tilpasningstjenester og økt produktivitet.
Les merSend forespørselTilpasset porøs keramisk chuck er den overlegne løsningen for fastspenning og fiksering av arbeidsstykker designet eksklusivt for halvlederproduksjon. Å velge Semicorex betyr at du vil dra nytte av pålitelig kvalitet, tilpasningstjenester og økt produktivitet.
Les merSend forespørselEnkeltkrystall silisiumdusjhode, kjent som gasssprayhodet eller gassfordelingsplaten eller, er en mye brukt gassdistribusjonsenhet i halvlederproduksjonsprosesser for viktige prosesstrinn som rengjøring, etsing og avsetning. Høykvalitets og kostnadseffektivt enkeltkrystall silisiumdusjhode er avgjørende for å forbedre presisjonen og kvaliteten på brikkeproduksjonen i halvlederindustrien.
Les merSend forespørsel