Som profesjonell produksjon vil vi gjerne gi deg halvlederkomponenter. Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
SiC-belagte komponenter med høy renhet er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra grafitt forbruksvarer for krystall voksende varme soner (varmere, smeltedigel susceptorer, isolasjon), til høypresisjon grafitt komponenter for wafer prosessutstyr, slik som silisiumkarbid belagt grafitt susceptorer for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC)-belagt grafittkonstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk jevnhet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Slutteffektor →
Endeeffektor er robotens hånd som flytter halvlederskiver mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex Wafer Edge Grinding Chuck er en keramisk disk laget av hvit aluminiumoksyd med høy renhet, designet for wafer Edge-sliping i halvlederproduksjon. Å velge semikorex sikrer overlegen materialkvalitet, presisjonsteknikk og pålitelig ytelse som støtter de mest krevende skivebehandlingsmiljøene.*
Les merSend forespørselSemikorex porøse aluminiumoksyd chucks er mikroporøs svart aluminiumoksyd vakuumarmatur med 35–40% porøsitet, designet for å gi ensartet sug og sikker skivehåndtering i halvlederproduksjon. Å velge semikorex betyr pålitelig keramisk prosjektering, overlegen materialkvalitet og jevn ytelse som beskytter avkastning og prosessstabilitet.*
Les merSend forespørselSemicorex AL2O3 Vacuum Chucks er mikroporøs keramisk adsorpsjonsarmatur laget av svart aluminiumoksyd med en porøsitet på 35–40%, spesielt designet for wafer -håndtering i halvlederapplikasjoner. Å velge semikorex betyr å dra nytte av avansert keramisk teknologi, presisjonsteknikk og pålitelig produktkvalitet som sikrer stabil ytelse i krevende rentromsmiljøer.*
Les merSend forespørselSemicorex aluminiumoksyd keramisk arm er en robotkomponent med høy renhet designet for presis og forurensningsfri skivehåndtering i halvlederproduksjon. Å velge semikorex sikrer ikke bare avansert aluminiumoksyd keramisk materialkvalitet, men også presisjonshåndverk som garanterer holdbarhet, renslighet og pålitelighet i kritiske prosessmiljøer.*
Les merSend forespørselSemikorex SIC innløpsringer er silisiumkarbidkomponenter med høy ytelse konstruert for halvlederbehandlingsutstyr, og tilbyr eksepsjonell termisk stabilitet, kjemisk motstand og presisjonsbearbeiding. Å velge semikorex betyr å få tilgang til pålitelige, tilpassede og forurensningsfrie løsninger som er klarert av ledende halvlederprodusenter.*
Les merSend forespørselSemicorex SiC ARM er en silisiumkarbidkomponent med høy renhet designet for presis håndtering og posisjonering av wafer i halvlederproduksjon. Å velge semikorex sikrer uovertruffen materiell pålitelighet, kjemisk motstand og presisjonsteknikk som støtter de mest krevende halvlederprosessene.*
Les merSend forespørsel