Kina Halvlederkomponenter produsenter, leverandører, fabrikk

Som profesjonell produksjon vil vi gjerne gi deg halvlederkomponenter. Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.

SiC-belagte komponenter med høy renhet er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra grafitt forbruksvarer for krystall voksende varme soner (varmere, smeltedigel susceptorer, isolasjon), til høypresisjon grafitt komponenter for wafer prosessutstyr, slik som silisiumkarbid belagt grafitt susceptorer for Epitaxy eller MOCVD.

Fordeler for halvlederprosesser

Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC)-belagt grafittkonstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk jevnhet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.

Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.

Slutteffektor →
Endeeffektor er robotens hånd som flytter halvlederskiver mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere.

Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.

Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.

Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.