Som profesjonell produksjon vil vi gjerne gi deg halvlederkomponenter. Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
SiC-belagte komponenter med høy renhet er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra grafitt forbruksvarer for krystall voksende varme soner (varmere, smeltedigel susceptorer, isolasjon), til høypresisjon grafitt komponenter for wafer prosessutstyr, slik som silisiumkarbid belagt grafitt susceptorer for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC)-belagt grafittkonstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk jevnhet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Slutteffektor →
Endeeffektor er robotens hånd som flytter halvlederskiver mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex SiC Heating Filament er en silisiumkarbidbelagt grafittvarmer designet for waferoppvarming i avansert halvlederproduksjon. Å velge Semicorex betyr å velge en pålitelig partner som leverer materialer med høy renhet, presisjonstilpasning og langvarig ytelse for de mest krevende termiske prosessene.*
Les merSend forespørselSemicorex silisiumkarbid-chucker er spesialdesignet for fotolitografiutstyr og har flere fordeler som høy presisjon, ultralett vekt, høy stivhet, lav termisk ekspansjonskoeffisient og utmerket slitestyrke.
Les merSend forespørselSemicorex SiC Furnace Tubes er silisiumkarbidrør med høy renhet produsert av avansert 3D-utskriftsteknologi, designet for høytemperatur fotovoltaiske prosesser. Semicorex leverer banebrytende SiC-løsninger med overlegen styrke, stabilitet og pålitelighet som solcelleindustrien over hele verden stoler på.*
Les merSend forespørselSemicorex SiC Paddles er utkragende arm av silisiumkarbid med høy renhet designet for wafertransport i høytemperatur-oksidasjons- og diffusjonsovner over 1000 ℃. Å velge Semicorex betyr å sikre eksepsjonell materialkvalitet, presisjonsteknikk og langsiktig pålitelighet som er pålitelig av ledende halvlederfabrikker.*
Les merSend forespørselSemicorex SiC Focus Ring er en silisiumkarbidringkomponent med høy renhet designet for å optimalisere plasmadistribusjon og waferprosessuniformitet i halvlederproduksjon. Å velge Semicorex betyr å sikre konsistent kvalitet, avansert materialteknikk og pålitelig ytelse som er pålitelig av ledende halvlederfabrikker over hele verden.*
Les merSend forespørselSemicorex Wafer Edge Grinding Chuck er en keramisk disk laget av hvit aluminiumoksyd med høy renhet, designet for wafer Edge-sliping i halvlederproduksjon. Å velge semikorex sikrer overlegen materialkvalitet, presisjonsteknikk og pålitelig ytelse som støtter de mest krevende skivebehandlingsmiljøene.*
Les merSend forespørsel