SiC prosessrør

Semicorex SiC prosessrør er de viktige strukturelle komponentene i oksidasjon, diffusjon, RTA/RTP i halvlederproduksjonsprosessen. Det er vanligvis et rør med stor diameter som et reaktorovnsrom, alle kjemiske prosesser vil skje inne. Så styrken, den termiske støtmotstanden er begge veldig grunnleggende poeng for produktet.

SiC prosessrørene er laget avsintret silisiumkarbidSemicorex SiC prosessrør produseres via en integrert 3D-utskrifts integrert støpeprosess i stedet for et konvensjonelt presseformet eller montert rør. Denne produksjonsprosessen tillater en kontinuerlig, konsistent struktur av keramikk uten skjøter og svake områder, noe som skaper en høy grad av kompleksitet og dimensjonal trofasthet, som kan lindre stresskonsentrasjoner samtidig som den forbedrer mekanisk styrke. Dessuten gir den monolittiske strukturen en naturgasstett forsegling, som reduserer forurensning og lekkasje under høytemperaturprosesser.

Disse SiC-prosessrørene er designet for bruk i atmosfærer med reaktiv gass (oksygen), skjermgass (nitrogen) og minimale mengder hydrogenkloridgass, og tilbyr enestående kjemisk motstand, termisk stabilitet og materialrenhet til 1250°C. Semicorex SiC prosessrør kombinerer toppmoderne 3D-utskriftsproduksjon med kjemisk dampavsetning (CVD) belegg for å gi overlegen ytelse og levetid under de mest ekstreme termiske og kjemiske forhold.

Semicorex SiC prosessrør produseres via en integrert 3D-utskrifts integrert støpeprosess i stedet for et konvensjonelt presseformet eller montert rør. Denne produksjonsprosessen tillater en kontinuerlig, konsistent struktur av keramikk uten skjøter og svake områder, noe som skaper en høy grad av kompleksitet og dimensjonal trofasthet, som kan lindre stresskonsentrasjoner samtidig som den forbedrer mekanisk styrke. Dessuten gir den monolittiske strukturen en naturgasstett forsegling, som reduserer forurensning og lekkasje under høytemperaturprosesser.

DeSiCav kroppen er et materiale med ultralav urenhet (< 300 ppm), som gir utmerket materialrenhet og stabilitet for reaktive atmosfærer. I tillegg er røret belagt med et CVD silisiumkarbidlag (< 5 ppm) for å forbedre korrosjonsbestandigheten og overflatebeskyttelsen.

Semicorex tilbyr den tilpassede tjenesten, vi kan produsere i henhold til kundenes tegninger, for å møte de nødvendige spesifikasjonskravene. Så Semicorex SiC prosessrør kan alternativt være egnet ikke bare for horisontale ovner, men også vertikale ovner.