Endeeffektor er robotens hånd som flytter halvlederskiver mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere. Endeeffektoren må være dimensjonalt presis og termisk stabil, samtidig som den har en jevn, slitebestandig overflate for å trygt håndtere wafere uten å skade enheter eller produsere partikkelforurensning.
Semicorex høyrent silisiumkarbid (SiC) beleggskomponenter gir overlegen varmebestandighet, jevn termisk jevnhet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand, og holdbar kjemisk motstand.
Semicorex SiC ARM er en silisiumkarbidkomponent med høy renhet designet for presis håndtering og posisjonering av wafer i halvlederproduksjon. Å velge semikorex sikrer uovertruffen materiell pålitelighet, kjemisk motstand og presisjonsteknikk som støtter de mest krevende halvlederprosessene.*
Les merSend forespørselSemikorexsic fingre er presisjons-konstruerte komponenter laget av silisiumkarbid med høy renhet, designet for å utføre under ekstreme krav fra halvlederproduksjon. Å velge semikorex betyr tilgang til avansert materialkompetanse, prosessering med høy presisjon og pålitelige løsninger som er klarert i kritiske wafer-håndtering av applikasjoner.*
Les merSend forespørsel