Aluminiumoksyd keramisk arm

Semicorex aluminiumoksyd keramisk arm er en konstruert komponent som er utviklet til de høyeste spesifikasjonene for halvlederapplikasjoner. Laget av aluminiumoksyd med høy renhet (Al₂o₃), er det en robotarm som har en unik kombinasjon av mekanisk styrke, termisk stabilitet og kjemisk motstand. Armen er ikke bare designet for å brukes til håndtering av skive alene, men må også gi prosessstøtte på avanserte fabrikasjonssider. Det må også sikre at skiver overføres, plasseres og behandles uten forurensning eller skade; Forbedre utbyttet og påliteligheten av prosessen.

Aluminiumoksyder en av de tekniske keramikkene som finner den bredeste bruken i det tekniske keramiske feltet. Alumina er kjent for sin hardhet, slitestyrke og stabilitet i aggressive miljøer. For målene med den keramiske armen for å håndtere håndtering av wafer uten å innføre forurensning, kan den utnytte egenskapene til aluminiumoksyd og levere et mye høyere motstandsnivå mot slitasje som en konsekvens av dens høye renhet og partikkelstørrelse; Derfor vil den ikke generere overdreven partikler under sine gjentatte bevegelser, verken med skiver eller med halvlederunderlag av noe annet slag.  Tettheten og den lave porøsiteten som den også er vert for potensialet for partikler som bryter fritt, og sikrer at den oppfyller de ultra-rene kravene til halvlederutvikling Fabs uten å forringe rensligheten som kreves for håndtering av submikronenhet.

Aluminiumoksydhar eksepsjonell termisk stabilitet i tillegg til dens mekaniske styrke. Den keramiske armen i aluminiumoksyden kan tåle ekstreme prosesstemperaturer uten å skjeve, sprekke eller miste styrke. Denne egenskapen gjør den ideell for inkorporering i ethvert prosesstrinn som inkluderer eksponering for forhøyede temperaturer, som diffusjon, oksidasjon eller annealtrinn. Wafers vil ha forbedret påliteligheten for overføring i et utfordrende prosessmiljø da det beholder mekanisk integritet under termisk sykling.

Kjemisk motstand er en annen grunnleggende positiv av aluminiumoksyden. I halvlederproduksjon utføres ofte behandlinger på skiver som inkluderer sterke syrer, alkalier og andre aggressive kjemikalier. Mens metalliske komponenter kan korrodere eller utvasking av urenheter, er aluminiumoksyd kjemisk inert, noe som beskytter integriteten til både armen og skiverne den håndterer. Derfor forlenger inertness levetiden til komponenten, samtidig som du reduserer muligheten for forurensning under kritiske prosesstrinn som våtrengjøring eller kjemisk dampavsetning.

Aluminiumoksyd keramiske armen er designet med fokus på kompatibilitet og presisjon. Hver arm er laget for å tette dimensjonale toleranser, noe som sikrer nøyaktig innretting og bevegelse av wafer og kompatibilitet med automatisert håndteringsutstyr og robotsystemer. Den glatte, polerte overflatefinishen har et lavt friksjonsgrensesnitt med skiven som reduserer sjansen for å klø på skiven, noe som er viktig for reduksjon av skiveintegritet/miljørens og defekthastighetsreduksjon. Disse konstruerte toleransene sikrer at armen fungerer fritt i et fartsfylt miljø med høyt gjennomstrømning og gir mulighet for både menneskelige og helautomatiserte halvlederarbeidsflyter for armen.

Den keramiske armen i aluminiumoksyd når utover bare kjemisk og mekanisk ytelse og påvirker driftseffektiviteten og kostnadsbesparelsen på flere nivåer. Den velprøvde holdbare naturen til keramikk lar armen overgå sammensatte materialer som plast eller aluminium når det gjelder designens levetid under repeterende mekanisk belastning, og reduserer derfor mengden driftsmessig driftsstans og/eller erstatningskostnader involvert. Evnen til å motstå tøffe miljøer inkluderer miljømessig renslighet, samtidig som de produserer mindre produksjonsavbrudd som fører til forbedret konsistent skiveproduksjon, dvs. utbytte, og til slutt mindre skrot som fører til en høyere avkastning (avkastning på investering) for halvlederprodusenter.

Alternativene for å brukeAluminiumoksyd keramikkARM for halvlederprosesser er tilnærmet uendelige - fra å bevege skiver mellom våte benker, diffusjonsovner og deponeringskamre til inspeksjon og metrologiverktøy som bruker underlag. Allsidigheten til dette produktet lar det ikke bare brukes til applikasjoner for skivehåndtering, men ytterligere automatiseringssituasjoner der nøyaktighet, renslighet og pålitelighet er nødvendig er også mulig. Halvlederindustrien beveger seg ubønnhørlig mot mindre noder og økt kompleksitet innen enhetens fabrikasjon, og når industrien fortsetter å kreve bedre håndteringsløsninger som er pålitelige og ikke-forurensende, skaper den keramiske robotarmen en klar vei fremover.