Kammerlokk brukes til å skape et rent, inert og beskyttet miljø i avsetningskamre, slik at de blir utsatt for plasma og høy temperatur under avsetnings- eller etseprosesser. Semicorex kammerlokk er slitesterke keramiske komponenter belagt med silisiumkarbid ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD) metode, flott å stå opp mot disse utfordrende miljøene.