Sic lokk

Semicorex SIC LID er en viktig del som er designet spesielt for halvlederbehandling. Den er designet for de tøffeste miljøene innen epitaksi, ionimplantasjon og applikasjoner med høy temperatur. Den er produsert av ultra-pure silisiumkarbid som har ekstremt stabile materialegenskaper og konstruert presisjon. Langsiktig konsistens, holdbarhet og renslighet er de viktigste årsakene til å velge semikorex SIC-lokket for bruk i avanserte halvlederproduksjonsprosesser.

Silisiumkarbid (sic)har en rekke egenskaper som er unike sammenlignet med tradisjonell keramikk eller metalliske materialer. En av de viktigste fordelene med SIC er dens motstand mot høye temperaturer. SIC kan opprettholde sin strukturelle integritet og mekaniske stabilitet - i lange perioder selv ved høye temperaturer. Dette gjør SIC ideell for prosesser som kjemisk dampavsetning (CVD) epitaksi eller implantasjon med høy energi ion. Metaller og plast ville deformere, oksidere eller forurense ved ekstreme temperaturer, mens SIC vil opprettholde sin dimensjonale stabilitet og ikke vil samhandle positivt med at skivene blir behandlet.

Kjemisk motstand er et annet kjennetegn ved SIC -lokk. I halvlederbehandling er miljøene du kan møte med etsende gasser, plasmas eller reaktive kjemikalier ikke uvanlige. I disse scenariene vil SIC -overflaten gi en inert barriere for å motstå forurensningene fra å nedbryte overflaten over tid, noe som resulterer i et lengre effektivt liv. Denne levetiden tilsvarer reduserte vedlikeholdskostnader, redusert nedetid for utstyr og repeterbarhet på tvers av utvidede prosesssykluser. Disse faktorene gjør SIC -lokket til et bedre alternativ for fabs som krever kontinuerlig, høy avkastningsproduksjon sammenlignet med tradisjonelle materialer.

Akkurat som kjemisk motstand, er renhet også avgjørende i halvlederpåføringen. Tilstedeværelsen av sporforurensninger kan ha en negativ innvirkning på enhetens ytelse og utbytte. SIC -lokket er laget av silisiumkarbidmaterialer med høy renhet som utelukker muligheten for at metalliske urenheter strømmer inn i prosessmiljøet. I tillegg er det garantert å være så rent som mulig og stabil som det angår forurensninger og utenfor krefter som påvirker lokkytelsen, noe som er avgjørende for å oppfylle dagens halvlederproduksjonskrav, der objekter på nanometernivå må defineres med dimensjonsløse presisjon og kontroll av forurensninger. Fleksibiliteten som SIC -lokket tilbyr er tilleggsverdi. Hver komponent kan utformes for en spesifikk kundes behov med hensyn til størrelse, geometri og overflatebehandling. Dette sikrer at lokket enkelt kan integreres i og integreres med forskjellige utstyrsmodeller og prosessverktøy.

Presisjonen av maskinering avSicLokkene forbedrer verdien av SIC -lokkene ytterligere. Halvlederverktøy krever den høyeste mekaniske presisjonen på grunn av store svingninger i dimensjonal kompatibilitet og overflateenhet, til og med mindre avvik i ensartethet og materialtykkelse kan alvorlig kompromittere et verktøys prosesskonsistenser, gjennomstrømning og produktkvalitet. Via avanserte teknologier i materialbehandling har SIC -lokk en flathet, overflateenhet og toleranser som overskrider konvensjonelle bransjestandarder, og tilbyr mekanisk tetningsoverflatetykkelse av, typisk tusenvis/tusenvis av en tomme (TIR). Den høye flatheten gjør det mulig å forsegle en mekanisk passform så vel som forsikringen for grenser for laboratorieklasse for å oppleve forhold i produksjonsprosessen kan replikeres. Dette er spesielt tydelig i fabs med høyt volum der vektleggingen av repeterbarhet av forhold er avgjørende for utførelsen av halvledere -enheter. Når du forfølger presisjonsteknikk, snakker det direkte for å gi optimalisering. Når SIC -lokk er i typisk praktisk bruk, for eksempel i epitaxy der SIC -lokket sitter termisk og kjemisk stabilt for å komme i reaktoren, eller i et ionimplantasjonssystem for å motstå energiske partikler som ble kastet ut av en høykraft og ioner som treffer seg under konstant, var deres mekaniske konfigurasjoner og egenskaper som treffer seg underkonstant underkonstant underkonstant. Hvorfor SIC-lokk er bestemt til å være synonymt i solid-state halvlederproduksjon.

Semicorex sic lokk representerer det beste fra både materialvitenskap og materialteknikk, og tilbyr best mulig ytelse i halvledermiljø, blant deres høye temperaturtoleranser, kjemisk motstand, ideell renhet, tilpassede fabrikasjoner, presist maskinarbeid, vil SIC -lokket utføre.