Silikonkassettbåter

Materialene deres deler den samme kjemiske sammensetningen som bårne wafere, og minimerer uønskede urenheter under høytemperaturprosesser.

1. Forurensning med ultralav urenhet: 

Materialene deres deler den samme kjemiske sammensetningen som bårne wafere, og minimerer uønskede urenheter under høytemperaturprosesser.

2. Suveren termisk stabilitet: 

De tåler ikke-deformasjon og opprettholder presis avstand for langvarig eksponering ved høye temperaturer (rundt 1250 °C), og gir dermed en stabil støtteplattform for wafere.

3.Utmerkede mekaniske egenskaper: 

De er mer motstandsdyktige mot slag og er mindre utsatt for brudd ved lasting og lossing enn kvartsbåter.

Semicorex silisium

Uten overflatebelegg vil overflatematerialene ikke flasse av selv når de utsettes for utfordrende høytemperaturmiljøer i lang tid.

Semicorex silisiumkassettbåterer små waferstøtte- og overføringsbærere som er kompatible med 4-tommers og 6-tommers horisontale høytemperaturovner. Den integrerte formede strukturelle designen unngår skjøtegapet og strukturelle svakheter ved skjøtene, noe som reduserer risikoen for sprekker forårsaket av mekanisk påvirkning, kjemisk korrosjon eller termisk stress. Silisiumkassettbåter er godt kompatible med høytemperaturbehandlingsprosedyrer som oksidasjon, diffusjon, gløding og høytemperaturrengjøring, i stor grad på grunn av Semicorex sin banebrytende prosesseringsteknologi.

Semicorex silisiumkassettbåter støtter avanserte tilpassede justeringer for våre verdsatte kunder, inkludert aspekter som rillestangform, rilletannlengde, profil, tiltvinkel og total wafer lastekapasitet. Denne skreddersydde designen garanterer at wafere er nøyaktig arrangert med faste intervaller i silisiumkassettbåter, og reduserer effektivt posisjonsavvik og ujevn oppvarming under prosessering og forhindrer dermed skade på brikkens elektriske ytelse eller til og med fullstendig brikkefeil. For å sikre at kundene mottar produkter av høy kvalitet, må Semicorex sine silisiumkassettbåter bestå strenge kvalitetsinspeksjoner, inkludert dimensjonsnøyaktighet, materialegenskaper, flate overflater, generell renhet og restspenning.