Monokrystallinsk Silisium Planar Target

Monokrystallinsk silisiumplane mål behandles vanligvis av høypresisjonsskjæreutstyr fra monokrystallinske silisiumblokker fremstilt etter Czochralski-metoden. For å møte diversifiseringen av kundenes behov, kan monokrystallinsk silisium plane mål kuttes i ønskede former for dine verdsatte kunder. Den nøyaktige slipe- og poleringsprosesseringsteknologien sikrer den suverene flatheten til målmaterialet, og gir en sterk garanti for avsetning av tynne filmer.

Monokrystallinsk silisium planar mål plasseres inne i et vakuumreaksjonskammer sammen med substratet som skal belegges under filmavsetningsprosessen. Når det monokrystallinske plane silisiummålet blir bombardert av høyenergiioner, sputteres silisiumatomer på overflaten av. Disse forstøvete silisiumatomene migrerer og avsettes på overflaten av substratet, og danner til slutt en tynn silisiumfilm.

Monokrystallinsk silisium planart mål tjener som materialkilde for tynnfilmavsetning. Alle silisiumatomer avsatt på waferoverflaten stammer fra monokrystallinske plane silisiummål. Derfor bestemmer kvaliteten på det plane monokrystallinske silisiummålet direkte renheten, jevnheten og andre nøkkelegenskaper til den avsatte tynne filmen.

Den suverene renhetsegenskapen gir monokrystallinsk silisiumplanart mål med evnen til å forhindre urenheter fra å forurense den tynne filmen. Dette forbedrer den elektriske ytelsen til halvlederenheter betydelig. Forbedringen av tynnfilmenes ensartethet og adhesjon drar nytte av dens svært ordnede krystallstruktur, som gjør at sputterpartiklene kan migrere og avsettes på waferoverflaten mer regelmessig. Den plane strukturdesignen er egnet for forstøvningskrav med stort område og høy hastighet, og kan brukes i storskala produksjonsscenarier som halvlederskiver og skjermpaneler.