Som profesjonell produksjon vil vi gjerne gi deg halvlederkomponenter. Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
SiC-belagte komponenter med høy renhet er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra grafitt forbruksvarer for krystall voksende varme soner (varmere, smeltedigel susceptorer, isolasjon), til høypresisjon grafitt komponenter for wafer prosessutstyr, slik som silisiumkarbid belagt grafitt susceptorer for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC)-belagt grafittkonstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk jevnhet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Slutteffektor →
Endeeffektor er robotens hånd som flytter halvlederskiver mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semikorexsic fingre er presisjons-konstruerte komponenter laget av silisiumkarbid med høy renhet, designet for å utføre under ekstreme krav fra halvlederproduksjon. Å velge semikorex betyr tilgang til avansert materialkompetanse, prosessering med høy presisjon og pålitelige løsninger som er klarert i kritiske wafer-håndtering av applikasjoner.*
Les merSend forespørselSemicorex SIC LID er en silisiumkarbidkomponent med høy renhet konstruert for ekstreme halvlederbehandlingsmiljøer. Å velge semikorex betyr å sikre uovertruffen materialkvalitet, presisjonsteknikk og tilpassede løsninger som er klarert av ledende halvlederprodusenter over hele verden.*
Les merSend forespørselSemikorex silisiumelektroder er komponenter med høy ytelse som kombinerer effektiv elektrisk ledning med presise gassfordelingsfunksjoner. Å velge semikorex betyr samarbeid med en pålitelig ekspert som leverer overlegen kvalitet, avanserte produksjonsteknikker og pålitelige, tilpassbare silisiumelektrodeløsninger skreddersydd til dine spesifikke behov.*
Les merSend forespørselSemikorex silisiumbåter er silisiumbærere med høy renhet designet for krystallvekst, halvleder og fotovoltaiske produksjonsprosesser, noe som gir eksepsjonell termisk stabilitet og forurensningskontroll. Å velge semikorex betyr tilgang til presisjons-konstruerte båter laget under streng kvalitetskontroll for å sikre jevn ytelse i de mest krevende miljøene.*
Les merSend forespørselCVD SiC-belegget til Semicorex SiC Coating Heater gir overlegen ytelse når det gjelder å beskytte varmeelementer fra de tøffe, korrosive og reaktive miljøene som ofte oppstår i prosesser som metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD) og epitaksial vekst.**
Les merSend forespørselDet metalliske dusjhodet, kjent som en gassfordelingsplate eller gassdusjhode, er en kritisk komponent som brukes mye i halvlederproduksjonsprosesser. Dens primære funksjon er å fordele gasser jevnt inn i et reaksjonskammer, og sikre at halvledermaterialer kommer i jevn kontakt med prosessen. gasser.**
Les merSend forespørsel