Som profesjonell produksjon vil vi gjerne gi deg halvlederkomponenter. Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
SiC-belagte komponenter med høy renhet er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra grafitt forbruksvarer for krystall voksende varme soner (varmere, smeltedigel susceptorer, isolasjon), til høypresisjon grafitt komponenter for wafer prosessutstyr, slik som silisiumkarbid belagt grafitt susceptorer for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC)-belagt grafittkonstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk jevnhet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Slutteffektor →
Endeeffektor er robotens hånd som flytter halvlederskiver mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex Silicon Pidestal Boat er en 9N waferbærer med ultrahøy renhet konstruert for presis og stabil waferstøtte i høytemperaturoksidasjons-, diffusjons- og LPCVD-prosesser. Velg Semicorex for uovertruffen materialrenhet, presisjonsbearbeiding og bevist pålitelighet*
Les merSend forespørselSemicorex Silicon Injector er en rørformet komponent med ultrahøy renhet konstruert for presis og kontamineringsfri gasslevering i LPCVD-polysilisiumavsetningsprosesser. Velg Semicorex for bransjeledende renhet, presisjonsmaskinering og utprøvd pålitelighet.*
Les merSend forespørselSemicorex Silicon Wafer Boat er en bærer med høy renhet designet for halvlederovner med høy temperatur, som støtter wafere under oksidasjons- og reduksjonsprosesser ved 1200–1250 °C. Semicorex gir overlegne produkter, ultra-ren ytelse og pålitelige resultater som direkte forbedrer enhetens utbytte.*
Les merSend forespørselSemicorex Silicon Shield Ring er en silisiumkomponent med høy renhet konstruert for avanserte plasmaetsesystemer, og fungerer som både et beskyttende skjold og en hjelpeelektrode. Semicorex sikrer ultra-ren ytelse, prosessstabilitet og overlegne etseresultater med presisjonskonstruerte halvlederkomponenter.*
Les merSend forespørselSemicorex SiC Ceramic Paddle er en utkragende komponent med høy renhet konstruert for høytemperatur-halvlederovner, primært brukt i oksidasjons- og diffusjonsprosesser. Å velge Semicorex betyr å få tilgang til avanserte keramiske løsninger som sikrer eksepsjonell stabilitet, renslighet og holdbarhet for kritiske wafer-håndteringsapplikasjoner.*
Les merSend forespørselSemicorex SiC-belagte Halfmoon Parts er presisjonskonstruerte komponenter designet som essensielle elementer i epitaksielt utstyr, der to halvmåneformede seksjoner kombineres for å danne en komplett kjerneenhet. Å velge Semicorex betyr å sikre pålitelige, rene og holdbare løsninger som sikrer stabil waferstøtte og effektiv varmeledning for avansert halvlederproduksjon.*
Les merSend forespørsel