Alumina Bernoulli robotarmer

Robotiske armer brukes hovedsakelig i front-end-prosesser av halvlederproduksjon som fotolitografi og etsing, hvor de deltar direkte i håndtering, overføring og plassering av halvlederskiver. SemicorexaluminaBernoulli robotarmer er keramiske slutteffektorer som oppnår wafer adsorpsjon og overføring basert på Bernoulli-prinsippet, og leverer eksepsjonell ytelse når det gjelder renslighet, stabilitet, presisjon, effektivitet og pålitelighet.

Ikke-kontaktadsorpsjon

Semicorex alumina Bernoulli robotarmer kan oppnå fast og stabil berøringsfri adsorpsjon av wafere ved å bruke deres spesialdesignede konfigurasjon og luftstrømsystem. Denne berøringsfrie operasjonsmetoden kan unngå direkte kontakt med halvlederskiver og i stor grad forhindre waferforurensning eller skade forårsaket av fysisk kontakt, noe som er spesielt hensiktsmessig under de ultrarene arbeidsforholdene og den delikate waferoverføringen.

Pålitelig fysisk og kjemisk ytelse

Alumina keramikk har utmerket hardhet og styrke, noe som gjør Semicorex alumina Bernoullirobotarmergodt egnet for langsiktig håndtering av halvlederskiver uten deformasjoner og skader.

Semicorex alumina Bernoulli robotarmer leverer også pålitelig kjemisk korrosjonsmotstand og tåler de utfordrende korrosive gassene og plasmadriftsmiljøene, og viser konstant holdbarhet over lang tid.

Streng renslighetskontroll

Semicorex alumina Bernoulli robotarmer er produsert av høyrent aluminiumoksydpulver gjennom presisjon isostatisk pressing og høytemperatursintring. Denne nøyaktige materialvalg og prosesseringsmetoden gjør at Semicorex alumina Bernoulli robotarmer har en ren og tett keramisk struktur. Dette reduserer risikoen for waferforurensning betraktelig forårsaket av uønskede urenheter fra driftsforhold.

Overlegen presisjonskontroll

Ferdig med presis sliping og polering, Semicorex alumina Bernoulli robotarmer leverer eksepsjonell dimensjonsnøyaktighet og overlegen flathet, noe som gjør dem svært egnet for høypresisjon automatisert halvlederproduksjon. I tillegg har Semicorex alumina Bernoulli robotarmer utmerket termisk stabilitet selv når de utsettes for miljøer med alvorlige temperatursvingninger, de kan opprettholde utmerket repeterende posisjonering og håndteringspresisjon.