Semicorex RTP-bærer er silisiumkarbidbelagt ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD), som er veldig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring. I kjernen av halvlederprosessen, epitaksi-susceptorene, blir først utsatt for avsetningsmiljøet, så det har høy varme- og korrosjonsmotstand. Den SiC-belagte bæreren har også en høy varmeledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper.
● SiC-belagt grafitt med høy renhet
● Overlegen varmebestandighet og kjemikaliebestandighet
● Høy termisk jevnhet
● Utmerket slitestyrke
Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth er ideell for prosessering av halvlederwafere, inkludert epitaksial vekst og prosessering av waferhåndtering. Karbongrafittsusceptorer og kvartsdigler behandles av MOCVD på overflaten av grafitt, keramikk osv. Våre produkter har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel