TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
Prosjekter |
Parametere |
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissivitet |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardhet (HK) |
2000 |
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex TaC Coated Ring står som en kritisk komponent som oppfyller disse krevende kravene. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex TaC-belagt dusjhode er integrert i den kjemiske dampavsetningsprosessen, og gir uovertruffen ytelse og lang levetid. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex TaC-belagt chuck representerer et betydelig fremskritt innen halvlederproduksjon. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex porøs grafitt med TaC-belegg er et spesialisert materiale designet for å møte kritiske utfordringer i veksten av silisiumkarbid (SiC) krystaller. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex tantalkarbidbelagt porøs grafitt er den siste innovasjonen innen silisiumkarbid (SiC) krystallvekstteknologi. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coated Susceptor (Tantalum Carbide Coated Susceptor) er en høyt spesialisert komponent som brukes i halvlederproduksjon og andre høytemperaturapplikasjoner. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel