TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
Prosjekter |
Parametere |
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissivitet |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardhet (HK) |
2000 |
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex TaC Coating Guide Ring fungerer som en viktig del i utstyr for metall-organisk kjemisk dampavsetning (MOCVD), som sikrer presis og stabil levering av forløpergasser under den epitaksiale vekstprosessen. TaC Coating Guide Ring representerer en rekke egenskaper som gjør den ideell for å motstå de ekstreme forholdene som finnes i MOCVD-reaktorkammeret.**
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coating Wafer Chuck står som toppen av innovasjon i halvlederepitaksiprosessen, en kritisk fase i halvlederproduksjon. Med vår forpliktelse til å levere produkter av topp kvalitet til konkurransedyktige priser, er vi klar til å være din langsiktige partner i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex MOCVD Susceptor med TaC Coating er en banebrytende komponent som er omhyggelig utformet for optimal ytelse i halvlederepitaksiprosesser i MOCVD-systemer. Semicorex er urokkelig i vår forpliktelse til å levere overlegne produkter til svært konkurransedyktige priser. Vi er ivrige etter å etablere et varig partnerskap med deg i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex CVD TaC Coated Ring regjerer som en kritisk komponent i halvlederbehandling, som symboliserer toppen av moderne materialteknikk. Denne ringen er laget for implementering i de mest strenge miljøer der presisjon og pålitelighet er overordnet, og legemliggjør fusjonen av banebrytende beleggsteknikker med spenstig materialvitenskap. Semicorex leverer standhaftig toppprodukter til konkurransedyktige priser, og vi ser frem til å inngå et langvarig samarbeid med deg i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor er en høyt spesialisert komponent designet for bruk i de epitaksiale prosessene ved halvlederproduksjon. Semicorex er dedikert til å levere toppkvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser. Vi er ivrige etter å etablere et langsiktig partnerskap med deg i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex Tantalum Carbide Coating Guide Ring er en avansert komponent spesielt utviklet for halvlederindustrien, og spiller en avgjørende rolle i veksten av silisiumkarbid (SiC) krystaller. Dette produktet er konstruert for å møte de strenge kravene til høytemperatur- og høystressmiljøer som er iboende i halvlederkrystallvekstprosesser. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørsel