TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
Prosjekter |
Parametere |
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissivitet |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardhet (HK) |
2000 |
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex TaC-belagt tetningsring påført tetningskomponenter gir eksepsjonelle ytelsesfordeler i de krevende miljøene for halvlederproduksjon. TaC-belegg løser kritiske utfordringer knyttet til kjemisk motstand, ekstreme temperaturer og mekanisk slitasje, noe som muliggjør høyere prosessutbytte, økt utstyrsoppetid og til slutt lavere produksjonskostnader. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses TaC-belagt tetningsring som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Les merSend forespørselSemicorex tantalkarbidbelagt susceptor er en kritisk komponent som spiller en sentral rolle i avsetningsprosesser som er avgjørende for å lage halvlederskiver. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex Tantalum Carbide Chuck er en avansert komponent som brukes i halvlederproduksjonsutstyr, kjent for sine eksepsjonelle termiske og mekaniske egenskaper. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coated Ring står som en kritisk komponent som oppfyller disse krevende kravene. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex TaC-belagt dusjhode er integrert i den kjemiske dampavsetningsprosessen, og gir uovertruffen ytelse og lang levetid. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex TaC-belagt chuck representerer et betydelig fremskritt innen halvlederproduksjon. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørsel