TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
Prosjekter |
Parametere |
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissivitet |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardhet (HK) |
2000 |
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex tantalkarbidbelagt ring er en viktig komponent som brukes i halvlederbehandling. Den er designet med et spesialisert belegg som tjener flere funksjoner for å forbedre effektiviteten og levetiden til grafittkomponenter i halvledermaskineri. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coated Graphite Parts er presisjonsutformede komponenter som er spesialdesignet for å tåle det krevende miljøet med halvlederbehandling. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coating Graphite Cover representerer en banebrytende løsning innen termiske applikasjoner for krystallvekst og epitaksiale (epi) prosesser. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coating Ring står som en sentral komponent i riket av monokrystallvekst innenfor det termiske feltet. Laget med presisjon og innovasjon, spiller denne spesialiserte guideringen en avgjørende rolle i den intrikate prosessen med produksjon av monokrystallinsk materiale. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor er en viktig komponent som brukes i ovner for metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD) for halvlederepitaksial (epi) prosessering. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Tantalkarbidbelagt plate er en banebrytende løsning designet for å møte de strenge kravene til halvlederproduksjon, spesielt i epitaksial (epi) prosesseringsstadiet. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel