TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
Prosjekter |
Parametere |
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissivitet |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardhet (HK) |
2000 |
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex TaC Coated Guide Ring, et høydepunkt av innovasjon i SiC (Silicon Carbide) enkrystallvekstovner. Denne guideringen er omhyggelig designet for å møte de strenge kravene til halvlederindustrien, og lover å redefinere krystallvekstprosessene dine med enestående presisjon og pålitelighet.
Les merSend forespørselSemicorex banebrytende TaC Coated Graphite Susceptor, en revolusjonerende komponent designet for å heve din waferepitaksiale prosess til nye høyder av effektivitet og presisjon. Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor er laget med uovertruffen ekspertise og bruker toppmoderne teknologi, og er konstruert for å møte de strenge kravene til halvlederproduksjon.
Les merSend forespørselSemicorex leverer høykvalitets tantalkarbidbelagte grafittdeler med tilpasset service. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex gir tantalkarbidbelagt grafittsusceptor med tilpasset service. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex TaC-belagt porøs grafitt, er et avansert høyrent materiale på halvlederbehandling. Dette avgjørende utstyret spiller en sentral rolle i prosessen med enkeltkrystall SiC-vekst. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSom profesjonell produksjon vil vi gjerne gi deg TaC-belagte ringer. Vi introduserer CVD Tac Coated Ring, en toppmoderne løsning for halvlederutstyr. Dette banebrytende produktet har et avansert kjemisk dampavsetning (CVD) belegg som gir eksepsjonell holdbarhet og motstand mot slitasje.
Les merSend forespørsel