TaC-belagt Susceptor

Semicorex TaC Coated Susceptor, laget av et grafittbasemateriale, er belagt med tantalkarbid (TaC) for å forbedre ytelsen og holdbarheten.

Tantalkarbid gir eksepsjonell termisk stabilitet, noe som gjør at TaC Coated Susceptor kan tåle ekstremt høye temperaturer som ofte oppstår i prosesser som kjemisk dampavsetning (CVD) og fysisk dampavsetning (PVD). Og TaC-belegg gir overlegen motstand mot kjemiske reaksjoner, oksidasjon og korrosjon, noe som er avgjørende for å opprettholde integritet og ytelse i tøffe kjemiske miljøer.

De jevne og stabile termiske egenskapene til TaC Coated Susceptor forbedrer konsistensen og kvaliteten på prosessene de brukes i, noe som fører til bedre utbytte og effektivitet i halvlederproduksjon.

I mellomtiden minimerer bruken av TaC av TaC Coated Susceptor risikoen for kontaminering i halvlederprosesser, noe som er avgjørende for å produsere høy renhet og defektfrie elektroniske komponenter.

Bruk av TaC-belagt susceptor:

Semiconductor Manufacturing: Brukes i CVD- og PVD-prosesser for å avsette tynne filmer og epitaksiale lag på halvlederwafere.

LED-produksjon: Ansatt i produksjon av lysemitterende dioder (LED) der det kreves presise og stabile termiske forhold.

Solcellefabrikasjon: Brukes til fremstilling av solcelleceller for å øke effektiviteten og påliteligheten.

Semicorex TaC Coated Susceptor er kritisk i avanserte produksjonsprosesser der høy termisk stabilitet, kjemisk motstand og holdbarhet er nødvendig. Applikasjonen deres sikrer forbedret ytelse, lang levetid og produktkvalitet i høyteknologiske industrier.