Tantalkarbidbelagte grafittdeler

Tantalkarbidbelagte grafittdeler spiller en avgjørende rolle i halvlederproduksjonsprosesser, hvor presisjon, pålitelighet og motstand mot tøffe forhold er avgjørende. Disse spesialbehandlede komponentene, inkludert etseringer og smeltedigler, er designet for å tåle de utfordrende miljøene man møter i halvlederproduksjon.

Tantalkarbidbelagte grafittdeler som etseringer er kritiske komponenter som brukes i halvlederindustrien for prosesser som kjemisk dampavsetning (CVD) og fysisk dampavsetning (PVD). Disse ringene kommer i direkte kontakt med reaktive gasser og høytemperaturmiljøer under etseprosessen.

Tantalkarbidbelagte grafittdeler er belagt med et tynt lag tantalkarbid. Dette belegget gir eksepsjonell slitestyrke og beskyttelse mot etsende kjemikalier, og sikrer lang levetid og jevn ytelse.

Tantalkarbidbelegget forbedrer hardheten og den kjemiske stabiliteten til etseringene, og forhindrer nedbrytning og forurensning. Det bidrar også til jevne etseresultater og forlenget driftslevetid.