TaC Coating Guide Ring

Funksjon avTaC Coating Guide Ring:

Nøyaktig gassstrømkontroll:TaC Coating Guide Ring er strategisk plassert i gassinjeksjonssystemet til MOCVD-reaktoren. dens primære funksjon er å styre strømmen av forløpergasser og sikre deres jevne fordeling over substratplatens overflate. Denne nøyaktige kontrollen over gassstrømdynamikken er avgjørende for å oppnå jevn epitaksial lagvekst og ønskede materialegenskaper.

Termisk styring:TaC Coating Guide Ring fungerer ofte ved høye temperaturer på grunn av deres nærhet til den oppvarmede susceptoren og underlaget. TaCs utmerkede varmeledningsevne hjelper til med å spre varme effektivt, forhindrer lokal overoppheting og opprettholder en stabil temperaturprofil innenfor reaksjonssonen.

Fordeler med TaC i MOCVD:

Ekstrem temperaturmotstand:TaC har et av de høyeste smeltepunktene blant alle materialer, over 3800°C. 

Enestående kjemisk treghet:TaC viser eksepsjonell motstand mot korrosjon og kjemisk angrep fra de reaktive forløpergassene som brukes i MOCVD, slik som ammoniakk, silan og forskjellige metallorganiske forbindelser.

Korrosjonsbestandighet Sammenligning av TaC og SiC

Lav termisk ekspansjon:TaCs lave termiske ekspansjonskoeffisient minimerer dimensjonsendringer på grunn av temperatursvingninger under MOCVD-prosessen. 

Høy slitestyrke:Hardheten og holdbarheten til TaC gir utmerket motstand mot slitasje fra den konstante strømmen av gasser og potensielle partikler i MOCVD-systemet. 

Fordeler for MOCVD-ytelse:

Bruken av Semicorex TaC Coating Guide Ring i MOCVD-utstyr bidrar betydelig til:

Forbedret epitaksial laguniformitet:Nøyaktig kontroll av gassstrømmen tilrettelagt av TaC Coating Guide Ring sikrer jevn forløperfordeling, noe som resulterer i svært jevn epitaksial lagvekst med jevn tykkelse og sammensetning.

Forbedret prosessstabilitet:Den termiske stabiliteten og den kjemiske inertheten til TaC bidrar til et mer stabilt og kontrollert reaksjonsmiljø i MOCVD-kammeret, og minimerer prosessvariasjoner og forbedrer reproduserbarheten.

Økt oppetid for utstyr:Holdbarheten og den forlengede levetiden til TaC Coating Guide Ring reduserer behovet for hyppige utskiftninger, minimerer vedlikeholdsstans og maksimerer driftseffektiviteten til MOCVD-systemet.