TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
Prosjekter |
Parametere |
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissivitet |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardhet (HK) |
2000 |
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex Tantalum Carbide Coating Chuck er en presisjonskonstruert komponent designet for bruk i miljøer med høy temperatur og høy belastning. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex CVD TaC Coating Ring er en høyytelseskomponent designet for krevende bruksområder som krever eksepsjonell slitestyrke, termisk stabilitet og kjemisk treghet. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coating Planetary Plate er en høyytelseskomponent designet spesielt for MOCVD-systemer. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coating Upper Halfmoon er en spesialisert komponent konstruert for høyytelses epitaksiale prosesser i halvlederproduksjon. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex Tantalum Carbide Coating Halfmoon Part er en høyt spesialisert komponent designet for bruk i epitaksial avsetningsprosessen. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coating Half-moon er en spesialisert komponent laget av tantalkarbid (TaC) belagt grafitt, designet for bruk i epitaksiale prosesser. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel