TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag av tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) er en forbindelse som består av tantal og karbon. Den har metallisk elektrisk ledningsevne og et eksepsjonelt høyt smeltepunkt, noe som gjør det til et ildfast keramisk materiale kjent for sin styrke, hardhet og varme- og slitestyrke. Smeltepunktet til tantalkarbider topper seg ved omtrent 3880°C avhengig av renhet og har et av de høyeste smeltepunktene blant de binære forbindelsene. Dette gjør det til et attraktivt alternativ når høyere temperaturkrav overstiger ytelsesevnen som brukes i epitaksiale prosesser for sammensatte halvledere som MOCVD og LPE.
Materialdata for Semicorex TaC Coating
Prosjekter |
Parametere |
Tetthet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissivitet |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardhet (HK) |
2000 |
Motstand (ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Endring av grafittdimensjon |
-10~-20um (referanseverdi) |
Beleggtykkelse |
≥20um typisk verdi (35um±10um) |
|
|
Ovennevnte er typiske verdier |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck er en høyytelseskomponent designet for presis waferhåndtering og høytemperaturprosesser i halvlederproduksjon. Velg Semicorex for sine innovative, holdbare produkter som sikrer optimal ytelse og lang levetid i krevende halvlederapplikasjoner.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC-ring er en høyytelseskomponent designet for SiC-enkrystallvekst, som sikrer optimal gassstrømfordeling og temperaturkontroll. Velg Semicorex for vår ekspertise innen avanserte materialer og presisjonsteknikk, som gir holdbare og pålitelige løsninger som forbedrer effektiviteten og kvaliteten til halvlederprosessene dine.*
Les merSend forespørselSemicorex Tantalum Carbide Part er en TaC-belagt grafittkomponent designet for bruk med høy ytelse i silisiumkarbid (SiC) krystallvekstapplikasjoner, og tilbyr utmerket temperatur- og kjemisk motstand. Velg Semicorex for pålitelige komponenter av høy kvalitet som forbedrer krystallkvalitet og produksjonseffektivitet i halvlederproduksjon.*
Les merSend forespørselSemicorex tantalkarbidringer er kritiske komponenter som brukes i avanserte produksjonsprosesser for halvledere. Kjent for sin eksepsjonelle hardhet, høye smeltepunkt og kjemiske treghet, Hos Semicorex er vi dedikert til å levere produkter som oppfyller de høyeste standardene for kvalitet og ytelse, og sikre at våre kunder forblir i forkant av innovasjon i halvlederindustrien.*
Les merSend forespørselSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor er et grafittbrett belagt med tantalkarbid, brukt i epitaksial silisiumkarbidvekst for å forbedre waferkvalitet og ytelse. Velg Semicorex for sin avanserte beleggsteknologi og holdbare løsninger som sikrer overlegne SiC-epitaksiresultater og forlenget susceptorlevetid.*
Les merSend forespørselTaC Coating Guide Rings er en grafittring med et tantalkarbidbelegg, designet for bruk i silisiumkarbidkrystallvekstovner for å forbedre krystallkvaliteten. Velg Semicorex for sin avanserte beleggsteknologi, som sikrer overlegen holdbarhet, termisk stabilitet og optimalisert krystallvekst.*
Les merSend forespørsel