TaC-belagt frøkrystallholder

Underlaget tilTaC belagtFrøkrystallholder er vanligvis laget av grafitt, silisiumkarbid eller karbon/karbon-komposittmaterialer, og deretter påføres et lag med TaC-belegg på overflaten gjennom avansert teknologi for ultrahøy temperatur kjemisk dampavsetning (CVD). Den TaC-belagte frøkrystallholderen fremstilt ved denne metoden har utmerket korrosjonsmotstand, supermekanisk styrke, god motstand mot høye temperaturer og effektiv varmeledningsevne.

Funksjonen til TaC-belagt frøkrystallholder

1. Støttefunksjon

Semicorex sin TaC-belagte frøkrystallholder gir en stabil støtteplattform for frøkrystaller, og garanterer at frøkrystallen holder en fast posisjon under utfordrende forhold som høy temperatur og høyt vakuum. Dette forhindrer effektivt problemer som krystallforskyvning eller skade fra vibrasjoner og luftstrøm, og sikrer dermed kontinuiteten og stabiliteten til krystallveksten.

2. Beskyttende effekt

Den TaC-belagte frøkrystallholderen er installert over grafittdigellokket, og isolerer grafittlokket fra høytemperatur Si-damp. Dette unngår effektivt dampindusert korrosjon og forlenger grafittlokkets levetid. I tillegg bidrar den iboende kjemiske stabiliteten og termiske temperaturbestandigheten til TaC-belegget også til å redusere innføringen av urenheter, og gir et stabilt og rent miljø for vekst av frøkrystaller.

3. Temperaturkontroll

Semicorex TaC-belagt frøkrystallholder bruker produksjonsteknikker som er i forkant av bransjen. Nøyaktig temperaturkontroll av det termiske feltet kan oppnås ved å optimalisere form, dimensjoner og beleggtykkelse. Dette reduserer defektraten betraktelig og fremmer effektivt jevn krystallvekst.