TaC-belagt planetarisk plate

Semicorex TaC Coated Planetary Plate fungerer som en nøkkelkomponent i MOCVD-reaktorer, og viser en planetarisk design preget av tallrike waferlommer anordnet langs overflaten. Disse lommene er spesielt skapt for pålitelig å romme skivene under vekstfasen til ethvert epitaksialt lag, stabilisere substratwafere og minimere substratbevegelse under høye prosesstemperaturer. Den nøyaktige lommegeometrien gir konsistent waferplassering som er viktig for jevn tykkelse på epitaksiale lag og jevnhetsnivåer av substratdefekter for alle wafere som dyrkes under samme prosess.

Et viktig designaspekt ved planetplaten er nok en gang den konstruerte spredningen av fine gassstrømningshull langs overflaten av platen. Disse hullene er nøye utformet og strategisk plassert spesielt for å måle strømmen av forløpergasser i reaktoren, slik at ensartet gassspredning og jevn avsetning oppnås mellom hver wafer. I enhver MOCVD-prosess er aspekter ved gassdynamikk avgjørende for å bestemme filmkvaliteter, tykkelsesenhet og generell enhetsytelse. Den optimaliserte hulldesignen påTaC belagtPlanetary Plate sikrer at alle wafere opplever de samme prosessforholdene, noe som gir en optimal måte å forbedre utbytte og reproduserbarhet på.

DeTaC (tantalkarbid) beleggforlenger ytelsen og levetiden til planetplaten ytterligere. Tantalkarbid er ekstremt hardt, kjemisk inert og termisk ledende, noe som gjør det til et utmerket belegg for ekstreme MOCVD-miljøer. Under epitaksi vil komponentene i reaktoren møte høye temperaturer, reaktive forløpergasser og plasmaeksponering. TaC-belegget fungerer som en robust barriere mot korrosjon, oksidasjon og partikkelgenerering for å resultere i en betydelig forlengelse av planetarisk platelevetid enn en ubelagt eller konvensjonelt belagt plate.

Den TaC-belagte planetariske platens levetid og holdbarhet gjør den til et kostnadseffektivt valg for MOCVD-systemer. Det slitesterke TaC-laget tåler gjentatte termiske sykluser og eksponering for ekstreme prosessgasser, samtidig som det opprettholder strukturell integritet og ytelsesstabilitet mens den opererer over lengre tidsrammer.