Tantalkarbidbelagte lederinger

Styreringer er vanligvis installert over grafittdigelen i det termiske feltsystemet. De fungerer sammen med digelen, varmeren og termisk isolasjonssylinder og andre halvlederkomponenter for å styre og kontrollere distribusjonen av varme og prosessgasser.

Afordelerav Tantalum Karbidbelegg

Kjent for den overlegne ytelsen tilTaC beleggi tredjegenerasjons halvleder-enkrystallvekstapplikasjoner gir tantalkarbidbelegg følgende fordeler:

1. Eksepsjonell termisk stabilitet

Tantalkarbid har enestående termisk motstand, med et ultrahøyt smeltepunkt på 3880 ℃. Med denne eksepsjonelle termiske stabiliteten, kan Semicorex tantalkarbidbelagte føringsringer brukes stabilt i høytemperaturmiljøer under 2500 ℃. I tillegg minimerer kombinasjonen av disse to materialene risikoen for sprekkdannelse og avskalling av belegg forårsaket av temperaturendringer, noe som i betydelig grad muliggjør den strukturelle integriteten til komponenten under gjentatte oppvarmings- og kjøleprosesser.

2.Bemerkelsesverdig korrosjonsbestandighet

Tantalkarbid har bemerkelsesverdig korrosjonsmotstand og oksidasjonsmotstand, og er kjemisk inert mot de fleste reaktive gasser som ammoniakk, hydrogen og silisium. På grunn av denne kjemiske stabiliteten forhindrer Semicorex tantalkarbidbelagte føringsringer effektivt reaktive gasser fra å erodere matrisen og skade deres strukturelle integritet, samtidig som man unngår risikoen for forurensning fra reaktanter og urenheter som kommer inn i krystallstrukturen.

Ytelsen til Semicorex tantalkarbidbelagte styreringer

Semicorextantalkarbidbelagte føringsringerbruk grafitt med høy renhet som matrise og deponer TaC-belegget på overflaten via CVD-teknologi. Kombinasjonen av disse to materialene gjør at Semicorex tantalkarbidbelagte føringsringer gir følgende fordeler:

1. Gassstrømveiledning og strømningsfeltoptimalisering

Under krystallvekst hjelper bruken av føringsringer med å optimalisere strømningsfordelingen innenfor det termiske feltet og dirigerer reaktive gasser mot en kontrollerbar strømningsretning og jevn fordeling. Takket være deres spesielle strukturelle design, kan Semicorex tantalkarbidbelagte føringsringer lede gass til å strømme og fordele seg jevnt, noe som effektivt unngår for høye eller lave lokale gasskonsentrasjoner.

2. Temperaturregulering og termisk feltoptimalisering

Semicorex tantalkarbidbelagte føringsringer viser overlegen termisk ledningsevne, og spiller en avgjørende rolle for å hjelpe til med å regulere temperaturfordelingen og gi et stabilt temperaturfelt for krystallvekst. For eksempel kan Semicorex tantalkarbidbelagte føringsringer bidra til å opprettholde temperaturgradienten i PVT-veksten av silisiumkarbidkrystaller, og sikre at materialene dekomponerer, transporterer og krystalliserer under passende forhold.