CVD TaC-belagte susceptorer

Semicorex CVD TaC-belagte susceptorer er designet spesielt for SiC-epitaksi (SiC Epi)-applikasjoner. De gir utmerket holdbarhet, termisk jevnhet og langsiktig pålitelighet for disse krevende prosesskravene. SiC-epitaksi-prosessstabilitet og kontamineringskontroll påvirker waferutbyttet og enhetens ytelse direkte, og derfor er mottakelighet en kritisk komponent i den forbindelse. En susceptor må tåle ekstreme temperaturer, etsende forløpergasser og gjentatt termisk syklus uten forvrengning eller beleggsvikt siden det er det primære middelet for å støtte og varme opp waferen i epitaksereaktoren.

TaC-belegg med høy renhet for ekstreme miljøer

Tantalkarbid (TaC)er et etablert keramisk materiale med ultrahøy temperatur med enestående motstand mot kjemisk korrosjon og termisk nedbrytning. Semicorex påfører et jevnt og tett CVD TaC-belegg på grafittsubstrater med høy styrke, og gir en beskyttende barriere som minimerer partikkelgenerering og forhindrer direkte eksponering av grafitten for reaktive prosessgasser (for eksempel hydrogen, silan, propan og klorkjemi).

CVD TaC-belegget gir overlegen stabilitet enn konvensjonelle belegg under de ekstreme forholdene som eksisterer under SiC epitaksial avsetning (større enn 1600 grader Celsius). I tillegg fremmer beleggets utmerkede vedheft og jevne tykkelse konsistent ytelse gjennom lange produksjonsserier og resulterer i redusert nedetid på grunn av tidlige feil i deler.

Optimalisert design for termisk enhetlighet og waferkvalitet

Konsekvent epitaksitykkelse og dopingnivåer kan oppnås gjennom jevn temperaturfordeling på waferoverflaten. For å oppnå dette er semicorex TaC-belagte susceptibiliteter presisjonsmaskinert til krevende toleranser. Dette gir enestående flathet og dimensjonsstabilitet under rask temperatursykling.

Susceptorens geometriske konfigurasjon er optimert, inkludert gassstrømningskanaler, lommedesign og overflatefunksjoner. Dette fremmer stabil posisjonering av waferen på susceptoren under epitaksi og forbedret jevnhet av oppvarming, og øker derved epitaksitykkelsen ensartethet og konsistens, noe som resulterer i et høyere utbytte av enheter produsert for krafthalvlederproduksjon.

Redusert forurensning og lengre levetid

Overflatedefekter forårsaket av forurensning fra partikler eller utgassing kan negativt påvirke påliteligheten til enheter produsert ved bruk av SiC-epitaksi. Den tetteCVD TaC-lagfungerer som en best-in-class barriere mot diffusjon av karbon fra grafittkjernen, og minimerer dermed overflateskade over tid. I tillegg begrenser dens kjemisk stabile glatte overflate oppbyggingen av uønskede avleiringer, noe som gjør det lettere å opprettholde passende rengjøringsprosesser og mer stabile reaktorforhold.

På grunn av sin ekstreme hardhet og evne til å motstå slitasje, kan TaC-belegg øke levetiden til susceptoren betraktelig sammenlignet med tradisjonelle beleggløsninger, og dermed redusere de totale eierkostnadene forbundet med produksjon av store mengder epitaksialt materiale.

Kvalitetskontroll og produksjonskompetanse

Semicorex fokuserer på avansert keramisk beleggteknologi og presisjonsmaskinering for halvlederprosesskomponenter. Hver CVD TaC-belagt susceptor er produsert under streng prosesskontroll, med inspeksjoner som dekker beleggets integritet, tykkelseskonsistens, overflatefinish og dimensjonsnøyaktighet. Vårt ingeniørteam støtter kunder med designoptimalisering, evaluering av beleggytelse og tilpasning for spesifikke reaktorplattformer.

Viktige fordeler

• Høyrent CVD TaC-belegg for overlegen kjemisk og termisk motstand
• Forbedret termisk ensartethet for stabil SiC epitaksial vekst
• Redusert partikkeldannelse og forurensningsrisiko
• Utmerket vedheft og beleggtetthet for forlenget levetid
• Presisjonsbearbeiding for pålitelig waferplassering og repeterbare resultater
• Egendefinerte design tilgjengelig for forskjellige SiC epitaksereaktorkonfigurasjoner

Søknader

Semicorex CVD TaC-belagte susceptorer er mye brukt i SiC-epitaksiale reaktorer for produksjon av krafthalvlederskiver, som støtter MOSFET, diode og neste generasjons produksjon av bredbåndsenheter.

Semicorex leverer pålitelige susceptorer av halvlederkvalitet ved å kombinere avansert CVD-beleggekspertise, streng kvalitetssikring og responsiv teknisk støtte – og hjelper globale kunder med å oppnå renere prosesser, lengre dellevetid og høyere SiC epi-utbytte.