1x2" Graphite Wafer Susceptorer

Ved fremstilling av halvlederwafer kreves det at det epitaksiale laget dyrkes på wafersubstratet for påfølgende fremstilling av halvlederenheter. Siden den epitaksiale vekstprosessen er svært følsom for temperatursvingninger og forurensning, er valgene av påliteligewafer susceptorerer kritisk viktige. Som de uunnværlige støttedelene i waferepitaksial prosess, er maskineringspresisjon, termisk styringsevne og forurensningsmotstand avgjørende faktorer for å oppnå høykvalitets waferepitaksial vekst.

Funksjonene til Semicorex 1x2" grafitt wafer susceptorer

Laget av ultrafinkornet grafitt med høy renhet som matrise med det tette silisiumkarbidbelegget via spesielle prosesser, Semicorex 1x2" grafittwafer-susceptorer leverer følgende funksjoner:

1.Sikker og foreldet beholdning

Semicorex 1x2"grafittwafer susceptorer har presisjonsmaskinering og -behandling, og gir eksepsjonell flathet og dimensjonsnøyaktighet. Dette sikrer at de er godt festet i en passende posisjon og gir en stabil, flat støtteplattform for epitaksial vekst av wafer.

2. Presisjon jevn varmefordeling

Med den utmerkede termiske ledningsevnen til grafitt- og SiC-materialer gir Semicorex 1x2" grafittwafer-susceptorer rask og jevn varmefordeling over halvledersubstansen. Ved å minimere temperaturgradienter kan Semicorex 1x2" grafittwafer-susceptorer effektivt unngå problemer som ujevn epitaksial kvalitet og spenningskonsentrasjon.

Fordelene med Semicorex silisiumkarbidbelegg

1. Overlegen korrosjonsbestandighet

Dekket med det tette silisiumkarbidbelegget, Semicorex 1x2" grafitt wafer susceptorer er effektivt motstandsdyktige mot de fleste kjemikalier, noe som gjør dem egnet for bruk under svært korrosive driftsforhold der materialet ofte utsettes for korrosive gasser og kjemiske damper.

2. Lav partikkelavgivelse

Semicorexsilisiumkarbidbelegghar høy bindingsstyrke med grafittmatrisen, noe som i betydelig grad kan unngå risikoen for substratforurensning på grunn av beleggløsning på grunn av korrosjon og partikkelnedfall forårsaket av høykorrosjonsmiljøer.

3. Pålitelig levetid

Selv om grafittmatriser viser utmerket termisk stabilitet og mekanisk styrke, er den utsatt for korrosjon og pulverisering under driftsforhold av epitaksial prosess, noe som forkorter levetiden til ubelagte grafittmatriser. Ved å fullstendig innkapsle grafittmatrisene med tette SiC-belegg, oppnår våre 1×2" grafittwafer-susceptorer overlegen og pålitelig holdbarhet.

Materialdata for Semicorex SiC Coating