MOCVD-susceptor for epitaksial vekst

Semicorex er en ledende leverandør og produsent av MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth. Produktet vårt er mye brukt i halvlederindustrien, spesielt i veksten av det epitaksiale laget på waferbrikken. Vår susceptor er designet for å brukes som senterplate i MOCVD, med et gir eller ringformet design. Produktet har høy varme- og korrosjonsbestandighet, noe som gjør det stabilt i ekstreme miljøer.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

En av fordelene med vår MOCVD-susceptor for epitaksial vekst er dens evne til å sikre belegg på alle overflater, og unngå avskalling. Produktet har høy temperatur oksidasjonsmotstand, som sikrer stabilitet ved høye temperaturer opp til 1600°C. Den høye renheten til produktet vårt oppnås gjennom CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold. Den tette overflaten med fine partikler sikrer at produktet er svært motstandsdyktig mot korrosjon fra syre, alkali, salt og organiske reagenser.
Vår MOCVD-susceptor for epitaksial vekst er designet for å oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret, og sikrer jevn termisk profil. Dette bidrar til å forhindre forurensning eller diffusjon av urenheter, og sikrer epitaksial vekst av høy kvalitet på waferbrikken.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår MOCVD-susceptor for epitaksial vekst.

Parametre for MOCVD Susceptor for epitaksial vekst

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner av MOCVD Susceptor for epitaksial vekst

- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter