SiC-belagt grafittsusceptor for MOCVD

Semicorex er en storskala produsent og leverandør av silisiumkarbidbelagt grafittsusceptor i Kina. Vi fokuserer på halvlederindustrier som silisiumkarbidlag og epitaksihalvleder. Vår SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD er en høyrent silisiumkarbidbelagt grafittbærer, som i prosessen brukes til å vokse det epiksiale laget på wafer-brikken. Det er senterplaten i MOCVD, formen på gir eller ring. SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Hos Semicorex er vi forpliktet til å tilby produkter og tjenester av høy kvalitet til våre kunder. Vi bruker kun de beste materialene, og produktene våre er designet for å møte de høyeste standardene for kvalitet og ytelse. Vår SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD er intet unntak. Kontakt oss i dag for å lære mer om hvordan vi kan hjelpe deg med behandlingsbehovet for halvlederwafer.

Parametre for SiC-belagt grafittsusceptor for MOCVD

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner av SiC-belagt grafittsusceptor for MOCVD

- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter