SiC-belagt MOCVD Susceptor

Semicorex er en ledende produsent og leverandør av SiC Coated MOCVD Susceptor. Produktet vårt er spesielt designet for halvlederindustrier for å vokse det epitaksiale laget på waferbrikken. Den høyrente silisiumkarbidbelagte grafittbæreren brukes som senterplate i MOCVD, med et gir- eller ringformet design. Vår susceptor er mye brukt i MOCVD-utstyr, noe som sikrer høy varme- og korrosjonsbestandighet og god stabilitet i ekstreme miljøer.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

En av de viktigste egenskapene til vår SiC-belagte MOCVD-susceptor er at den sikrer belegg på alle overflater, og unngår avskalling. Produktet har høy temperatur oksidasjonsmotstand, som er stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C. Den høye renheten oppnås ved å bruke CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold. Produktet har en tett overflate med fine partikler, noe som gjør det svært motstandsdyktig mot korrosjon fra syre, alkali, salt og organiske reagenser.
Vår SiC-belagte MOCVD Susceptor sikrer det beste laminære gassstrømningsmønsteret, som garanterer jevn termisk profil. Dette bidrar til å forhindre forurensning eller diffusjon av urenheter, og sikrer epitaksial vekst av høy kvalitet på waferbrikken. Semicorex tilbyr en konkurransedyktig prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Teamet vårt er dedikert til å gi utmerket kundeservice og støtte. Vi er forpliktet til å bli din langsiktige partner, og tilby høykvalitets og pålitelige produkter for å hjelpe din bedrift å vokse.

Parametre for SiC-belagt MOCVD-susceptor

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner av SiC-belagt MOCVD Susceptor

- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter