SiC-belegg er et tynt lag på susceptoren gjennom prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD). Silisiumkarbidmateriale gir en rekke fordeler fremfor silisium, inkludert 10x nedbrytningsstyrken for elektrisk felt, 3x båndgapet, som gir materialet høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex tilbyr tilpasset service, hjelper deg med innovasjon med komponenter som varer lenger, reduserer syklustider og forbedrer utbyttet.
SiC-belegg har flere unike fordeler
Høytemperaturmotstand: CVD SiC-belagt susceptor kan tåle høye temperaturer opp til 1600°C uten å gjennomgå betydelig termisk nedbrytning.
Kjemisk motstand: Silisiumkarbidbelegget gir utmerket motstand mot et bredt spekter av kjemikalier, inkludert syrer, alkalier og organiske løsemidler.
Slitestyrke: SiC-belegget gir materialet utmerket slitestyrke, noe som gjør det egnet for bruksområder som involverer høy slitasje.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belegget gir materialet høy varmeledningsevne, noe som gjør det egnet for bruk i høytemperaturapplikasjoner som krever effektiv varmeoverføring.
Høy styrke og stivhet: Den silisiumkarbidbelagte susceptoren gir materialet høy styrke og stivhet, noe som gjør det egnet for applikasjoner som krever høy mekanisk styrke.
SiC-belegg brukes i ulike applikasjoner
LED-produksjon: CVD SiC-belagt susceptor brukes i produksjon bearbeidet av ulike LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED, på grunn av sin høye varmeledningsevne og kjemiske motstand.
Mobilkommunikasjon: CVD SiC-belagt susceptor er en avgjørende del av HEMT for å fullføre GaN-on-SiC epitaksial prosessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor brukes i halvlederindustrien for ulike applikasjoner, inkludert wafer-behandling og epitaksial vekst.
SiC-belagte grafittkomponenter
Laget av Silicon Carbide Coating (SiC) grafitt, påføres belegget ved en CVD-metode på spesifikke kvaliteter av høydensitetsgrafitt, slik at det kan operere i høytemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets spesielle egenskaper og lave masse tillater raske oppvarmingshastigheter, jevn temperaturfordeling og enestående presisjon i kontroll.
Materialdata for Semicorex SiC Coating
Typiske egenskaper |
Enheter |
Verdier |
Struktur |
|
FCC β-fase |
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrukket |
Bulk tetthet |
g/cm³ |
3.21 |
Hardhet |
Vickers hardhet |
2500 |
Varmekapasitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk ekspansjon 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) |
430 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusjon CVD SiC-belagt susceptor er et komposittmateriale som kombinerer egenskapene til en susceptor og silisiumkarbid. Dette materialet har unike egenskaper, inkludert høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke, høy varmeledningsevne og høy styrke og stivhet. Disse egenskapene gjør det til et attraktivt materiale for ulike høytemperaturapplikasjoner, inkludert halvlederbehandling, kjemisk prosessering, varmebehandling, solcelleproduksjon og LED-produksjon.
Semicorex LPE Halfmoon Reaction Chamber er uunnværlig for effektiv og pålitelig drift av SiC-epitaksi, og sikrer produksjon av høykvalitets epitaksiale lag samtidig som vedlikeholdskostnadene reduseres og driftseffektiviteten økes. **
Les merSend forespørselSemicorex 6'' Wafer Carrier for Aixtron G5 tilbyr en rekke fordeler for bruk i Aixtron G5-utstyr, spesielt i høytemperatur- og høypresisjons-halvlederproduksjonsprosesser.**
Les merSend forespørselSemicorex Epitaxy Wafer Carrier gir en svært pålitelig løsning for Epitaxy-applikasjoner. De avanserte materialene og beleggsteknologien sikrer at disse bærerne leverer enestående ytelse, reduserer driftskostnader og nedetid på grunn av vedlikehold eller utskifting.**
Les merSend forespørselSemicorex wafer susceptor er spesialdesignet for halvlederepitaksiprosessen. Den spiller en viktig rolle for å sikre presisjonen og effektiviteten til waferhåndtering. Vi er en ledende bedrift i den kinesiske halvlederindustrien, forpliktet til å gi deg de beste produktene og tjenestene.*
Les merSend forespørselSemicorex waferholder er en kritisk komponent i halvlederproduksjon og spiller en nøkkelrolle i å sikre nøyaktig og effektiv håndtering av wafere under epitaksiprosessen. Vi er fast forpliktet til å tilby produkter av høyeste kvalitet til konkurransedyktige priser og ser frem til å starte en bedrift med deg.*
Les merSend forespørselSemicorex SiC Coating Ring er en kritisk komponent i det krevende miljøet med halvlederepitaksiprosesser. Med vår standhaftige forpliktelse til å tilby produkter av topp kvalitet til konkurransedyktige priser, er vi klare til å bli din langsiktige partner i Kina.*
Les merSend forespørsel