SiC-belegg er et tynt lag på susceptoren gjennom prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD). Silisiumkarbidmateriale gir en rekke fordeler fremfor silisium, inkludert 10x nedbrytningsstyrken for elektrisk felt, 3x båndgapet, som gir materialet høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex tilbyr tilpasset service, hjelper deg med innovasjon med komponenter som varer lenger, reduserer syklustider og forbedrer utbyttet.
SiC-belegg har flere unike fordeler
Høytemperaturmotstand: CVD SiC-belagt susceptor kan tåle høye temperaturer opp til 1600°C uten å gjennomgå betydelig termisk nedbrytning.
Kjemisk motstand: Silisiumkarbidbelegget gir utmerket motstand mot et bredt spekter av kjemikalier, inkludert syrer, alkalier og organiske løsemidler.
Slitestyrke: SiC-belegget gir materialet utmerket slitestyrke, noe som gjør det egnet for bruksområder som involverer høy slitasje.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belegget gir materialet høy varmeledningsevne, noe som gjør det egnet for bruk i høytemperaturapplikasjoner som krever effektiv varmeoverføring.
Høy styrke og stivhet: Den silisiumkarbidbelagte susceptoren gir materialet høy styrke og stivhet, noe som gjør det egnet for applikasjoner som krever høy mekanisk styrke.
SiC-belegg brukes i ulike applikasjoner
LED-produksjon: CVD SiC-belagt susceptor brukes i produksjon bearbeidet av ulike LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED, på grunn av sin høye varmeledningsevne og kjemiske motstand.
Mobilkommunikasjon: CVD SiC-belagt susceptor er en avgjørende del av HEMT for å fullføre GaN-on-SiC epitaksial prosessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor brukes i halvlederindustrien for ulike applikasjoner, inkludert wafer-behandling og epitaksial vekst.
SiC-belagte grafittkomponenter
Laget av Silicon Carbide Coating (SiC) grafitt, påføres belegget ved en CVD-metode på spesifikke kvaliteter av høydensitetsgrafitt, slik at det kan operere i høytemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets spesielle egenskaper og lave masse tillater raske oppvarmingshastigheter, jevn temperaturfordeling og enestående presisjon i kontroll.
Materialdata for Semicorex SiC Coating
Typiske egenskaper |
Enheter |
Verdier |
Struktur |
|
FCC β-fase |
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrukket |
Bulk tetthet |
g/cm³ |
3.21 |
Hardhet |
Vickers hardhet |
2500 |
Varmekapasitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk ekspansjon 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) |
430 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusjon CVD SiC-belagt susceptor er et komposittmateriale som kombinerer egenskapene til en susceptor og silisiumkarbid. Dette materialet har unike egenskaper, inkludert høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke, høy varmeledningsevne og høy styrke og stivhet. Disse egenskapene gjør det til et attraktivt materiale for ulike høytemperaturapplikasjoner, inkludert halvlederbehandling, kjemisk prosessering, varmebehandling, solcelleproduksjon og LED-produksjon.
Semicorex sine MOCVD-susceptorer utgjør toppen av håndverk, utholdenhet og pålitelighet for intrikate grafittepitaksi og presise waferhåndteringsoppgaver. Disse susceptorene er kjent for sin høye tetthet, eksepsjonelle flathet og overlegne termiske kontroll, noe som gjør dem til det fremste valget for krevende produksjonsmiljøer. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses MOCVD-susceptorer som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.
Les merSend forespørselSemicorex-platen for epitaksial vekst står som et kritisk element som er spesielt utviklet for å imøtekomme forviklingene ved epitaksiale prosesser. Tilpasset for å møte distinkte spesifikasjoner og preferanser, tilbyr tilbudet vårt en individuelt skreddersydd løsning som sømløst passer dine unike operasjonelle behov. Vi tilbyr en rekke tilpasningsalternativer, fra størrelsesendringer til variasjoner i malingsapplikasjonen, og utstyrer oss til å konstruere og levere et produkt som er i stand til å forbedre ytelsen på tvers av ulike applikasjonsscenarier. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelsesplater for epitaksial vekst som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.
Les merSend forespørselSemicorex Wafer Carrier for MOCVD, laget for de nøyaktige behovene til Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), fremstår som et uunnværlig verktøy i behandlingen av enkeltkrystall Si eller SiC for høyskala integrerte kretser. Wafer Carrier for MOCVD-sammensetningen har enestående renhet, motstand mot høye temperaturer og korrosive miljøer, og overlegne tetningsegenskaper for å opprettholde en uberørt atmosfære. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses Wafer Carriers for MOCVD som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.
Les merSend forespørselSiC-båtholderen fra Semicorex er nyskapende smidd av SiC, eksplisitt skreddersydd for sentrale roller innen solcelle-, elektronikk- og halvledersektorene. Semicorex SiC-båtholderen er konstruert med presisjon og tilbyr et beskyttende, stabilt miljø for wafere gjennom alle trinn – det være seg prosessering, transport eller lagring. Dens omhyggelige design sikrer presisjon i dimensjoner og jevnhet, avgjørende for å minimere waferdeformasjon og maksimere driftsutbytte.
Les merSend forespørselSemicorex SiC Guide Ring er konstruert for å optimalisere enkeltkrystallvekstprosessen. Dens eksepsjonelle termiske ledningsevne sikrer jevn varmefordeling, og bidrar til dannelsen av høykvalitetskrystaller med forbedret renhet og strukturell integritet. Semicorex sin forpliktelse til markedsledende kvalitet, alliert med konkurransedyktige skattemessige hensyn, befester vår iver etter å etablere partnerskap for å oppfylle dine krav til transport av halvlederwafer.
Les merSend forespørselSemicorex Epi-SiC Susceptor, en komponent konstruert med omhyggelig oppmerksomhet på detaljer, er uunnværlig for banebrytende halvlederfabrikasjon, spesielt i epitaksiale applikasjoner. Epi-SiC Susceptors design, som legemliggjør presisjon og innovasjon, støtter epitaksial avsetning av halvledermaterialer på wafere, og sikrer eksepsjonell effektivitet og pålitelighet i ytelse. Semicorex sin forpliktelse til markedsledende kvalitet, alliert med konkurransedyktige skattemessige hensyn, befester vår iver etter å etablere partnerskap for å oppfylle dine krav til transport av halvlederwafer.
Les merSend forespørsel