SiC-belegg er et tynt lag på susceptoren gjennom prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD). Silisiumkarbidmateriale gir en rekke fordeler fremfor silisium, inkludert 10x nedbrytningsstyrken for elektrisk felt, 3x båndgapet, som gir materialet høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex tilbyr tilpasset service, hjelper deg med innovasjon med komponenter som varer lenger, reduserer syklustider og forbedrer utbyttet.
SiC-belegg har flere unike fordeler
Høytemperaturmotstand: CVD SiC-belagt susceptor kan tåle høye temperaturer opp til 1600°C uten å gjennomgå betydelig termisk nedbrytning.
Kjemisk motstand: Silisiumkarbidbelegget gir utmerket motstand mot et bredt spekter av kjemikalier, inkludert syrer, alkalier og organiske løsemidler.
Slitestyrke: SiC-belegget gir materialet utmerket slitestyrke, noe som gjør det egnet for bruksområder som involverer høy slitasje.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belegget gir materialet høy varmeledningsevne, noe som gjør det egnet for bruk i høytemperaturapplikasjoner som krever effektiv varmeoverføring.
Høy styrke og stivhet: Den silisiumkarbidbelagte susceptoren gir materialet høy styrke og stivhet, noe som gjør det egnet for applikasjoner som krever høy mekanisk styrke.
SiC-belegg brukes i ulike applikasjoner
LED-produksjon: CVD SiC-belagt susceptor brukes i produksjon bearbeidet av ulike LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED, på grunn av sin høye varmeledningsevne og kjemiske motstand.
Mobilkommunikasjon: CVD SiC-belagt susceptor er en avgjørende del av HEMT for å fullføre GaN-on-SiC epitaksial prosessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor brukes i halvlederindustrien for ulike applikasjoner, inkludert wafer-behandling og epitaksial vekst.
SiC-belagte grafittkomponenter
Laget av Silicon Carbide Coating (SiC) grafitt, påføres belegget ved en CVD-metode på spesifikke kvaliteter av høydensitetsgrafitt, slik at det kan operere i høytemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets spesielle egenskaper og lave masse tillater raske oppvarmingshastigheter, jevn temperaturfordeling og enestående presisjon i kontroll.
Materialdata for Semicorex SiC Coating
Typiske egenskaper |
Enheter |
Verdier |
Struktur |
|
FCC β-fase |
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrukket |
Bulk tetthet |
g/cm³ |
3.21 |
Hardhet |
Vickers hardhet |
2500 |
Varmekapasitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk ekspansjon 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) |
430 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusjon CVD SiC-belagt susceptor er et komposittmateriale som kombinerer egenskapene til en susceptor og silisiumkarbid. Dette materialet har unike egenskaper, inkludert høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke, høy varmeledningsevne og høy styrke og stivhet. Disse egenskapene gjør det til et attraktivt materiale for ulike høytemperaturapplikasjoner, inkludert halvlederbehandling, kjemisk prosessering, varmebehandling, solcelleproduksjon og LED-produksjon.
Semicorex Susceptor Disc er et uunnværlig verktøy i Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), spesielt konstruert for å støtte og varme halvlederwafere under den kritiske prosessen med epitaksial lagavsetning. Susceptor Disc er medvirkende til produksjon av halvlederenheter, hvor presis lagvekst er avgjørende. Semicorex sin forpliktelse til markedsledende kvalitet, alliert med konkurransedyktige skattemessige hensyn, befester vår iver etter å etablere partnerskap for å oppfylle dine krav til transport av halvlederwafer.
Les merSend forespørselEpitaksial Single-crystal Si Plate innkapsler toppen av raffinement, holdbarhet og pålitelighet for applikasjoner knyttet til grafittepitaksi og wafermanipulering. Den utmerker seg ved sin tetthet, planhet og termiske styringsevner, og posisjonerer den som det optimale valget for strenge driftsforhold. Semicorex sin forpliktelse til markedsledende kvalitet, alliert med konkurransedyktige skattemessige hensyn, befester vår iver etter å etablere partnerskap for å oppfylle dine krav til transport av halvlederwafer.
Les merSend forespørselSingle-crystal Silicon Epi Susceptor er en essensiell komponent designet for Si-GaN epitaksi-prosesser, som kan skreddersys til individualiserte spesifikasjoner og preferanser, og gir en skreddersydd løsning som passer perfekt med spesifikke krav. Enten det innebærer modifikasjoner i dimensjoner eller justeringer i beleggtykkelse, har vi evnen til å designe og levere et produkt som imøtekommer ulike prosessparametere, og dermed optimalisere ytelsen for målrettede applikasjoner. Semicorex sin forpliktelse til markedsledende kvalitet, alliert med konkurransedyktige skattemessige hensyn, befester vår iver etter å etablere partnerskap for å oppfylle dine krav til transport av halvlederwafer.
Les merSend forespørselLaget med presisjon og konstruert for pålitelighet, har SiC Epitaxy Susceptor høy korrosjonsmotstand, høy varmeledningsevne, motstand mot termisk sjokk og høy kjemisk stabilitet, noe som gjør at den kan fungere effektivt i en epitaksial atmosfære. Derfor regnes SiC Epitaxy Susceptor som en kjerne og avgjørende komponent i MOCVD-utstyr. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex Silicon Carbide Boat Holder er et spesialisert produkt laget av SiC-materiale, omhyggelig designet for applikasjoner i industrier som solceller, elektronikk og halvledere. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex Solar Graphite Boat, en presisjonskonstruert waferholder designet for å møte de strenge kravene til høytemperatur-halvlederbehandling. Denne innovative båten er laget av førsteklasses grafitt, og tilbyr uovertruffen termisk stabilitet og holdbarhet, og sikrer optimal ytelse i selv de mest krevende ovnsmiljøer. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel