SiC-belagt grafitt MOCVD-susceptorer

SiC-belagt grafitt MOCVD-susceptorerer de essensielle komponentene som brukes i utstyr for metall-organisk kjemisk dampavsetning (MOCVD), som er ansvarlig for å holde og varme opp wafersubstrater. Med sin overlegne termiske styring, kjemiske motstand og dimensjonsstabilitet, er SiC-belagt grafitt MOCVD susceptorer ansett som det optimale alternativet for høykvalitets wafer substrat epitaksi.

I wafer-fabrikasjonen erMOCVDteknologi brukes til å konstruere epitaksiale lag på overflaten av wafersubstrater, og forbereder fabrikasjon av avanserte halvlederenheter. Siden veksten av epitaksiale lag påvirkes av flere faktorer, kan ikke wafersubstratene plasseres direkte i MOCVD-utstyret for avsetning. SiC-belagt grafitt MOCVD-susceptorer er nødvendig for å holde og varme opp wafer-substratene, og skape stabile termiske forhold for vekst av epitaksiale lag. Derfor bestemmer ytelsen til SiC-belagt grafitt MOCVD-susceptorer direkte jevnheten og renheten til tynnfilmmaterialer, som igjen påvirker produksjonen av avanserte halvlederenheter.

Semicorex velgergrafitt med høy renhetsom matrisemateriale for dets SiC-belagte grafitt MOCVD-susceptorer og belegger deretter grafittmatrisen jevnt medsilisiumkarbidbelegg via CVD-teknologi. Sammenlignet med den konvensjonelle teknologien, forbedrer CVD-teknologien bindestyrken mellom silisiumkarbidbelegget og grafittmatrisen betydelig, noe som resulterer i et tettere belegg med sterkere vedheft. Selv under den krevende høytemperatur-korrosive atmosfæren opprettholder silisiumkarbidbelegget sin strukturelle integritet og kjemiske stabilitet over en lang periode, og forhindrer effektivt direkte kontakt mellom korrosive gasser og grafittmatrisen. Dette unngår effektivt korrosjon av grafittmatrisen og forhindrer grafittpartikler fra å løsne og forurense wafersubstrater og epitaksiale lag, noe som sikrer renheten og utbyttet ved fremstilling av halvlederenheter.

Fordelene med  Semicorex sine SiC-belagte grafitt MOCVD-susceptorer

1. Utmerket korrosjonsbestandighet

2. Høy varmeledningsevne

3. Overlegen termisk stabilitet

4. Lav termisk ekspansjonskoeffisient

5. Eksepsjonell motstand mot termisk støt

6. Høy overflateglatthet

7. Varig levetid