Halvleder keramiske deler

Halvleder keramiske deler tilhører avansert keramikk og er en uunnværlig del av halvlederproduksjonsprosessen. Råvarene for tilberedning er vanligvis høy-renhet, ultrafin uorganiske materialer, så som aluminiumoksyd, silisiumkarbid, aluminiumnitrid, silisiumnitrid, yttriumoksid, zirkoniumoksid, etc.

Aluminiumoksid

Den er mye brukt, og produktytelsen varierer i henhold til renheten. 95% renhet er lysegul, og 99% renhet er snøhvit. Den har utmerket stivhet, styrke, slitestyrke, høye temperaturmotstand og korrosjonsmotstand, og kan brukes til å fremstille de fleste halvleder keramiske deler, for eksempel keramiske dyser, keramiske armer, etc.

Silisiumkarbid

Den er svart, har høy termisk ledningsevne, høy styrke og hardhet, lett vekt, god sjokkmotstand, og brukes ofte til å tilberede vakuumarmer og vakuumsugekopper.

Aluminiumnitrid

Den har høy termisk ledningsevne, en termisk ekspansjonskoeffisient som samsvarer med silisium, en lav dielektrisk konstant og dielektrisk tap, og kan brukes til å lage varmedissipasjonssubstrater, keramiske dyser osv.

Silisiumnitrid

Høyt smeltepunkt, ultrahøy hardhet, høy kjemisk inerthet, lav termisk ekspansjonskoeffisient, høy termisk ledningsevne, god termisk støtmotstand, høy påvirkningsmotstand og styrke under 1200 ℃, ofte brukt til å lage keramiske underlag, keramiske rør osv.

Yttriumoksid

Høyt smeltepunkt, god kjemisk og fotokjemisk stabilitet, høy termisk ledningsevne, god lysoverføring, ofte kombinert med aluminiumoksyd for å lage keramiske vinduer.

Zirkoniumoksid

Høy mekanisk styrke, høye temperaturresistens, syre- og alkalisk motstand, god isolasjon, i henhold til forskjellige innhold kan gjøres av keramiske produkter til forskjellige formål, for eksempel integrerte kretssubstrater osv.

Typer deler:

"Allrounder" halvleder keramiske deler med forskjellige funksjoner er mye brukt i forskjellige typer halvledernøkkelutstyr, hovedsakelig inkludert følgende:

Halvleder keramisk arm

Spiller en rolle i halvlederutstyr når du transporterer skiver, og må jobbe i et vakuumsentmiljø. Vanligvis tilberedt med aluminiumoksyd med høy renhet eller silisiumkarbid, er aluminiumoksyd kostnadseffektivt og brukes mer.

Keramisk underlag

Brukes i forskjellige elektroniske emballasjefelt, for eksempel elektroniske enheter, lasere, etc., og tilberedes ofte med materialer som aluminiumoksyd og silisiumnitrid.

Keramisk dyse

I HDP-CVD påvirker kvaliteten dens renhet og strømningshastighet for reaksjonsgassen. Aluminiumnitrid keramikk er mer egnet for avansert prosessutstyr på grunn av deres utmerkede ytelse.

Keramisk vindu

Det er en nøkkelkomponent i halvledereten. Det kan være vakuumforseglet uten å påvirke plasma -penetrasjonen. Det er vanligvis laget av aluminiumoksyd med høy renhet og yttriumoksid.

Keramisk kammerdeksel

Det er en nøkkelkomponent i det tynne filmavsetningsutstyret, som er avgjørende for å sikre kvaliteten på skiven og forseglingen av reaksjonskammeret.

Keramisk vakuum chuck

Den brukes til å plassere og klemme silisiumskiven. Det er en porøs keramikk laget av to keramiske materialer.

Forberedelsesprosess:

Forberedelsesprosessen for "håndverk" halvleder keramiske deler er komplisert, hovedsakelig inkludert følgende trinn:

Pulverforberedelse

Råvarene må opparbeides, og råpulveret som oppfyller kravene oppnås gjennom batching, mekanisk kulefresing, spraytørking og andre prosesser.

Pulverstøping

Tørrpressing, isostatisk pressing, båndstøping, injeksjonsstøping, gelinjeksjonsstøping og andre metoder brukes ofte for å lage pulveret til keramisk grønn kropp.

Høytemperatur sintring

Den keramiske grønne kroppen blir transformert til en tett kokt kropp gjennom normal trykksintering, vakuumsintering, atmosfære sintring og andre metoder.

Presisjonsmaskinering

Den sintret keramiske kokte kroppen blir behandlet med CNC -dreiebenker, kverner osv. For å oppnå ønsket størrelse og presisjon.

Kvalitetsinspeksjon

Utseendet, størrelsen, porøsiteten, ruheten og andre egenskapene til keramiske deler testes for å sikre produktkvalitet.

Overflatebehandling

Overflaten på produktene som passerer kvalitetsinspeksjonen rengjøres, og ytterligere overflatebehandling er nødvendig for spesielle behov, for eksempel lysbuesprøyting, plasmaspraying, etc.

Semicorex tilbyr høy kvalitetkeramiske deleri halvleder. Hvis du har noen henvendelser eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å komme i kontakt med oss.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com